光プローブ素子、光プローブ素子を用いた記録再生装置、および光プローブ素子の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：原謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-121710
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331805
出願日： 1993年05月24日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【構成】透光性材料からなるほぼ円錐形の突起と、突起の先端部分を除いて突起の円錐面に形成された反射膜2からなる光プローブ3が、透光性材料からなる平面基板1の片面に形成されている光プローブ素子20、この光プローブ素子20を用いた記録再生装置、およびこの光プローブ素子20の製造方法。【効果】半導体プロセス技術を利用して平面基板1上に光プローブ3を形成することが可能となる。これにより、規格のそろった光プローブ素子20およびこの光プローブ素子20を用いた記録再生装置を効率よく量産することが可能となる。

請求項（抜粋）：

透光性材料からなるほぼ円錐形の突起と、突起の先端部分を除いて突起の円錐面に形成された反射膜からなる光プローブが、透光性材料からなる平面基板の片面に形成されていることを特徴とする光プローブ素子。

IPC (3件)：

G02B 5/00 , G11B 7/135 , G11B 7/22

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭59-121310
ニアフイールド光学顕微鏡用光導入装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-262235 出願人：オリンパス光学工業株式会社
ニアフィールド顕微鏡装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-328856 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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