薄膜の物性評価方法および評価装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-206667
公開番号（公開出願番号）：特開2009-042038
出願日： 2007年08月08日
公開日（公表日）： 2009年02月26日
要約：

【課題】本発明の課題は、薄膜試料の温度を広い範囲に連続的に変化させながら、前記薄膜試料の偏光パラメータ(Ψ、Δ)を測定することにより、特定の圧力および温度において、前記薄膜試料の膜厚L、屈折率n、消衰係数k等の物性を求め、ナノ空孔の量と大きさや比表面積、熱膨張率、分解脱離に伴う熱光学特性などの評価を目的とした、圧力温度可変偏光解析測定方法を提供することである。【解決手段】偏光解析装置において、光学的に透明な窓を設けた試料評価室内に試料を配置し、該窓には、該試料評価室内の気体圧力と温度を変化させても、試料台に載置された試料に照射する入射光に対して垂直な光学面、および、試料から反射する反射光に対して温度を変化させても垂直な光学面が設けられていることにより、種々の圧力をもつ所定の雰囲気中において、種々な温度における試料の屈折率、消衰係数又は膜厚を求めることを可能とした偏光解析装置である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

偏光解析方法において、光学的に透明な窓を設けた試料評価室内に試料を配置し、該窓には、該試料評価室内の気体圧力又は温度を変化させても、試料に照射する入射光に対して垂直な光学面及び試料で反射する反射光に対して垂直な光学面が設けられていることにより、種々な圧力と温度における、試料の屈折率、消衰係数又は膜厚を求めることが可能であることを特徴とする偏光解析方法。

IPC (4件)：

G01N 21/21 , G01J 4/04 , G01N 15/08 , G01B 11/06

FI (4件)：

G01N21/21 Z , G01J4/04 Z , G01N15/08 Z , G01B11/06 Z

Fターム (27件)：

2F065AA30 , 2F065BB01 , 2F065CC31 , 2F065FF50 , 2F065GG24 , 2F065HH09 , 2F065HH12 , 2F065JJ08 , 2F065LL33 , 2F065LL34 , 2F065QQ03 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065RR07 , 2F065SS13 , 2F065UU05 , 2G059AA02 , 2G059AA03 , 2G059BB10 , 2G059EE02 , 2G059EE05 , 2G059HH02 , 2G059JJ19 , 2G059KK01 , 2G059MM01 , 2G059NN02 , 2G059NN04

引用特許：

出願人引用 (3件)

日本国特許第3253932号
米国特許明細書第6319736号
偏光を用いた光学物性測定方法及びその測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-176573 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所

審査官引用 (1件)

偏光を用いた光学物性測定方法及びその測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-176573 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所

引用文献：

出願人引用 (5件)

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審査官引用 (2件)

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