偏光を用いた光学物性測定方法及びその測定装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-176573
公開番号（公開出願番号）：特開2004-020405
出願日： 2002年06月18日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：

【課題】試料の温度及び雰囲気の制御が可能であり、小型で、汎用性があり、用いる偏光の波長にあわせて窓材を適宜交換可能な小型チャンバー、試料に対して斜入射する偏光を用いた光学物性測定方法及びその装置を提供する。【解決手段】試料に偏向した光を斜入射し、試料からの反射光の偏光状態の変化を計測する光学物性測定装置に使用する小型チャンバーであって、試料を収容するチャンバー本体に、入射偏光及び試料からの反射偏光の進行方向に対して垂直な窓面を持つ二つの窓23を形成して、これらの窓の窓面に対して上記入射偏光及び反射偏光が通るようにしたことを特徴とする、上記小型チャンバー、上記チャンバーを用いることを特徴とする光学物性測定方法、及びその測定装置。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

試料に偏向した光を斜入射し、試料からの反射光の偏光状態の変化を計測する光学物性測定装置に使用する小型チャンバーであって、試料を収容するチャンバー本体に、入射偏光及び試料からの反射偏光の進行方向に対して垂直な窓面を持つ二つの窓を形成して、これらの窓の窓面に対して上記入射偏光及び反射偏光が通るようにしたことを特徴とする、上記小型チャンバー。

IPC (3件)：

G01N21/03 , G01J4/04 , G01N21/21

FI (3件)：

G01N21/03 Z , G01J4/04 Z , G01N21/21 Z

Fターム (18件)：

2G057AA08 , 2G057AB07 , 2G057AC05 , 2G057BA01 , 2G057BB04 , 2G057BB10 , 2G057CB05 , 2G057DA20 , 2G057HA07 , 2G059AA02 , 2G059BB10 , 2G059CC01 , 2G059DD15 , 2G059DD16 , 2G059EE02 , 2G059EE05 , 2G059JJ19 , 2G059JJ21

引用特許：

審査官引用 (8件)

半導体表面の温度と表面上に形成された膜の厚さを測定する装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-339659 出願人：株式会社島津製作所
赤外反射スペクトルの測定方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-248484 出願人：科学技術振興事業団
HPLC用円二色性検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-205821 出願人：日本分光株式会社

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