特許
J-GLOBAL ID:200903008573747611

積層型結合導波路及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 絹谷 信雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-115868
公開番号(公開出願番号):特開2001-296440
出願日: 2000年04月12日
公開日(公表日): 2001年10月26日
要約:
【要約】【課題】 製造が容易で高寸法精度が得られ、しかも高性能特性が得られる積層型結合導波路及びその製造方法を提供する。【解決手段】 下部クラッド層2の上に、フォトブリーチング用ポリマ層からなり下部クラッド層2より屈折率の高い略矩形断面形状のコア層3及びコア層3の両側面に形成されコア層3より屈折率の低い側面クラッド層4からなる導波路層20と、紫外線光遮蔽層5とを少なくとも2層積層するので、光結合部のコア層3同士の結合間隔を狭くすることができる。このため製造が容易で高寸法精度が得られ、しかも高性能特性が得られる。
請求項(抜粋):
下部クラッド層と、該下部クラッド層の上に形成されフォトブリーチング用ポリマ層からなり上記クラッド層より屈折率の高い略矩形断面形状のコア層及び該コア層の両側面に形成され該コア層より屈折率の低い側面クラッド層からなる導波路層と、該導波路層の上に形成され所望の厚さ及び屈折率を有し紫外線光を遮蔽する紫外線光遮蔽層と、上記導波路層及び上記紫外線光遮蔽層が少なくとも2層積層されたもののうち最も上側の紫外線光遮蔽層の上に形成され上記コア層より屈折率の低い上部クラッド層とを備えたことを特徴とする積層型結合導波路。
IPC (3件):
G02B 6/122 ,  G02B 6/12 ,  G02B 6/13
FI (4件):
G02B 6/12 A ,  G02B 6/12 D ,  G02B 6/12 F ,  G02B 6/12 M
Fターム (11件):
2H047KA04 ,  2H047KB04 ,  2H047KB08 ,  2H047LA18 ,  2H047PA01 ,  2H047PA11 ,  2H047PA21 ,  2H047PA28 ,  2H047QA05 ,  2H047TA01 ,  2H047TA43
引用特許:
審査官引用 (3件)

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