マイクロレンズ形成用ポジ型感光材料

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-281132
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201901
出願日： 1993年11月10日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】固体撮像素子、液晶表示素子の製造時に用いられるマイクロ集光レンズ用材料を提供する。【構成】アルカリ可溶性樹脂としてビニルフェノール系共重合体、感光剤として1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、熱硬化剤として加熱処理によりレンズを形成する際に耐熱性,耐溶剤性を付与させる熱硬化剤及び溶剤からなるマイクロレンズ形成用ポジ型感光材料。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂としてビニルフェノール系共重合体、感光剤として1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、熱硬化剤として加熱処理によりレンズを形成する際に耐熱性,耐溶剤性を付与させる熱硬化剤及び溶剤からなることを特徴とするマイクロレンズ形成用ポジ型感光材料。

IPC (5件)：

G02B 1/04 , G02B 3/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 511 , G03F 7/039

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-223702
ポジ型ホトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-073613 出願人：東京応化工業株式会社
特開平4-352101

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