特許
J-GLOBAL ID：200903008592564420
顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-344087
公開番号（公開出願番号）：特開平9-184984
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：
【要約】【課題】 対象部のエッジ部分をより正確に検出するとともに、照明光の光路に光遮断手段を挿入することによって明視野と暗視野との切り換えを容易に行う。【解決手段】 光源から出射された照明光をガラス層上に対象部が形成された計測対象物の片面に照射し、該照明光が他面に透過して得られる検出光強度を対物レンズを介して光検出器によって検出することにより対象部の寸法を計測する顕微鏡において、光源と計測対象物との間に配置される対物レンズよりも開口数の大きな照明用対物レンズと、該照明用対物レンズと光源との間に配置され、照明用対物レンズの外周部近傍のみに照明光を入射させる光遮断手段とを具備する。
請求項（抜粋）：
光源から出射された照明光をガラス層上に対象部が形成された計測対象物の片面に照射し、該照明光が他面に透過して得られる検出光強度を対物レンズを介して光検出器によって検出することにより対象部の寸法を計測する顕微鏡において、前記光源と計測対象物との間に配置される前記対物レンズよりも開口数の大きな照明用対物レンズと、該照明用対物レンズと前記光源との間に配置され、照明用対物レンズの外周部近傍のみに照明光を入射させる光遮断手段と、を具備することを特徴とする顕微鏡。
IPC (4件)：
G02B 21/06
, G01B 11/24
, G02B 7/00
, G02B 21/00
G02B 21/06
, G01B 11/24 F
, G02B 7/00 A
, G02B 21/00
