揺動アクチュエータ装置およびレーザ加工装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人武和国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-216988
公開番号（公開出願番号）：特開2008-043133
出願日： 2006年08月09日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：

【課題】可動磁石式の揺動アクチュエータにおける永久磁石の温度上昇を抑制し、例えばガルバノミラーの位置決め動作を高速かつ連続に行う場合でも、加工スループットや穴位置精度が劣化せず、信頼性の高い加工を実現できる揺動アクチュエータ装置及びレーザ加工装置を提供すること。【解決手段】ケース41を冷却する冷却ジャケット43と、コイル33とケース41に接触する伝熱バイパス手段50、51とを設け、伝熱バイパス手段50、51により、コイル33で発生する熱をケース41に導き、コイル33の温度上昇を抑制する。また、コイル33と対向する永久磁石30に径方向の溝300〜302を設け、永久磁石30に渦電流が発生することを防止する。溝の深さは永久磁石30の体積抵抗率と透磁率とコイル33に通電する電流の基本周波数との関数で表される表皮深さ以上とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

回転軸とこの回転軸の回りに配置された永久磁石とからなる可動子と、該可動子の周りに配置されコイルとヨークとからなる固定子と、前記可動子と前記固定子を収納するハウジングとを備え、前記可動子を予め定める角度範囲内で揺動させる揺動アクチュエータ装置において、伝熱バイパス手段、を設け、前記伝熱バイパス手段により、前記コイルと前記ハウジングとを熱的に接続した、ことを特徴とする揺動アクチュエータ装置。

IPC (6件)：

H02K 9/22 , H02K 9/19 , H02K 1/22 , H02K 1/27 , G02B 26/08 , G02B 26/10

FI (6件)：

H02K9/22 Z , H02K9/19 Z , H02K1/22 A , H02K1/27 501A , G02B26/08 E , G02B26/10 104

Fターム (47件)：

2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC04 , 2H045AB06 , 2H045AB08 , 2H045AB48 , 5H601AA16 , 5H601AA29 , 5H601BB02 , 5H601CC01 , 5H601CC15 , 5H601DD01 , 5H601DD09 , 5H601DD11 , 5H601DD19 , 5H601DD30 , 5H601DD32 , 5H601DD47 , 5H601EE01 , 5H601EE27 , 5H601EE30 , 5H601EE38 , 5H601FF01 , 5H601GA02 , 5H601GA37 , 5H601GA39 , 5H601GC12 , 5H601GE02 , 5H601GE10 , 5H609BB03 , 5H609BB19 , 5H609BB24 , 5H609PP02 , 5H609PP05 , 5H609PP06 , 5H609PP07 , 5H609QQ04 , 5H609QQ11 , 5H609QQ23 , 5H609RR26 , 5H609RR58 , 5H609RR70 , 5H622AA03 , 5H622CA01 , 5H622CA07 , 5H622CA13 , 5H622PP01

引用特許：

出願人引用 (5件)

加工装置および加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-044860 出願人：日立ビアメカニクス株式会社
特許第3199813号公報
改良型ガルバノメータスキャナ
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-535107 出願人：ジーエスアイ・ルモニクス,インコーポレイテッド, ジーエスアイ・ルモニクス,インコーポレイテッド

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審査官引用 (3件)

回転電機
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-386366 出願人：いすゞ自動車株式会社
ガルバノスキャナ及びレーザ加工機
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-024160 出願人：日立ビアメカニクス株式会社
希土類焼結磁石と永久磁石型同期モータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-095940 出願人：信越化学工業株式会社

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