感光性ポリイミドシロキサン、組成物および絶縁膜

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-149050
公開番号（公開出願番号）：特開平9-100350
出願日： 1996年06月11日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：

【要約】【課題】膜厚を大きくでき、光硬化特性および有機溶媒に対する溶解性に優れ、高温加熱が不要で、硬化膜の電気的性質および機械的性質が良好な感光性ポリイミドシロキサンを提供する。【解決手段】2つのベンゼン環が直接またはCO、あるいはOで結合した芳香族テトラカルボン酸二無水物と、感光基を含有する芳香族ジアミンおよびジアミノポリシロキサンとからなるジアミンとを重合および化学イミド化して得られる感光性ポリイミドシロキサンに関する。

請求項（抜粋）：

一般式(1)で表される芳香族テトラカルボン酸二無水物成分と、【化1】(ただし、式中、R1 、R2 はそれぞれ酸無水物基を有する1核の芳香族残基、XはCO、Oまたは直接結合を示す。)一般式(2)で表される感光基を含有する芳香族ジアミン化合物15〜80モル%【化2】(ただし、式中、R3 は炭化水素不飽和基を有する感光性基を含有する芳香族残基を示す。)および一般式(3)で示されるジアミノポリシロキサン85〜20モル%【化3】(ただし、式中、R4 は2価の炭化水素残基を示し、R5 は独立に炭素数1〜3のアルキル基またはフェニル基を示し、lは3〜30の整数を示す。)からなるジアミン成分との実質的に等モル量を重合およびイミド化してなることを特徴とする有機溶媒可溶性の感光性ポリイミドシロキサン。

IPC (5件)：

C08G 73/10 NTF , C08L 79/08 LRD , G03F 7/038 504 , G03F 7/075 511 , H01B 3/30

FI (5件)：

C08G 73/10 NTF , C08L 79/08 LRD , G03F 7/038 504 , G03F 7/075 511 , H01B 3/30 D

引用特許：

審査官引用 (16件)

新規ジアミン及びそれらから製造された感光性ポリイミド
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-145221 出願人：オクシデンタルケミカルコーポレイション
特開昭62-145801
特開平1-121364

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