特許

J-GLOBAL ID：200903008635169822

アルカリ現像性レジスト用樹脂組成物、ドライフィルム及びそれらの硬化物よりなるレジスト

発明者： 奥尾 雅巳 ,  加藤 行浩
出願人/特許権者： 日本油脂株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-046465
公開番号（公開出願番号）：特開2002-244293
出願日： 2001年02月22日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：

【要約】【課題】 感度及び解像度を維持しつつ、耐熱性、耐刷性及び耐摩耗性に優れるとともに、優れた誘電特性を発揮することができるアルカリ現像性レジスト用樹脂組成物、ドライフィルム及びそれらの硬化物よりなるレジストを提供する。【解決手段】 アルカリ現像性レジスト用樹脂組成物は、下記の一般式(1)で表される繰り返し構造単位及び酸基を有する繰り返し構造単位で構成される共重合体(A)と、重合性単量体(B)とを含有するものである。【化1】(但し、式中のX1は炭素数3〜8の分岐アルキル基若しくは置換分岐アルキル基、又は炭素数4〜8のシクロアルキル基若しくは置換シクロアルキル基を表し、Y1は炭素数3〜8の分岐アルキル基若しくは置換分岐アルキル基、又は炭素数4〜8のシクロアルキル基若しくは置換シクロアルキル基を表す。)

請求項（抜粋）：

下記の一般式(1)で表される繰り返し構造単位及び酸基を有する繰り返し構造単位で構成される共重合体(A)と、重合性単量体(B)とを含有するアルカリ現像性レジスト用樹脂組成物。【化1】(但し、式中のX1は炭素数3〜8の分岐アルキル基若しくは置換分岐アルキル基、又は炭素数4〜8のシクロアルキル基若しくは置換シクロアルキル基を表し、Y1は炭素数3〜8の分岐アルキル基若しくは置換分岐アルキル基、又は炭素数4〜8のシクロアルキル基若しくは置換シクロアルキル基を表す。)

IPC (6件)：

G03F 7/033 ,  C08F 2/46 ,  C08F267/06 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/00

FI (6件)：

G03F 7/033 ,  C08F 2/46 ,  C08F267/06 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/00 F

Fターム (101件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AA12 ,  2H025AA13 ,  2H025AB03 ,  2H025AB11 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC18 ,  2H025BC38 ,  2H025CB10 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025FA17 ,  4J011QA03 ,  4J011QA08 ,  4J011QA09 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA15 ,  4J011QA16 ,  4J011QA18 ,  4J011QA19 ,  4J011QA20 ,  4J011QA21 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA36 ,  4J011QA38 ,  4J011QA39 ,  4J011QB14 ,  4J011QB16 ,  4J011RA03 ,  4J011RA10 ,  4J011RA11 ,  4J011RA12 ,  4J011RA17 ,  4J011SA04 ,  4J011SA05 ,  4J011SA06 ,  4J011SA15 ,  4J011SA16 ,  4J011SA17 ,  4J011SA19 ,  4J011SA22 ,  4J011SA29 ,  4J011SA34 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA76 ,  4J011SA79 ,  4J011UA01 ,  4J011UA03 ,  4J011UA04 ,  4J011UA08 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA19 ,  4J026AA20 ,  4J026AA43 ,  4J026AA48 ,  4J026AA50 ,  4J026AA53 ,  4J026AA54 ,  4J026AA55 ,  4J026AA62 ,  4J026AA63 ,  4J026AC15 ,  4J026AC16 ,  4J026AC23 ,  4J026AC33 ,  4J026BA05 ,  4J026BA06 ,  4J026BA08 ,  4J026BA12 ,  4J026BA16 ,  4J026BA17 ,  4J026BA19 ,  4J026BA20 ,  4J026BA26 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA36 ,  4J026BA38 ,  4J026BA39 ,  4J026BA40 ,  4J026BA50 ,  4J026BB01 ,  4J026BB02 ,  4J026BB03 ,  4J026DA02 ,  4J026DA03 ,  4J026DA05 ,  4J026DA07 ,  4J026DA12 ,  4J026DA15 ,  4J026DB15 ,  4J026DB32 ,  4J026DB36 ,  4J026FA05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 感光性材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-185046   出願人：株式会社東芝
• ソルダーレジスト用樹脂組成物及びその硬化物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-136864   出願人：日本油脂株式会社, ティーディーケイ株式会社
• ソルダーレジスト樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-339930   出願人：株式会社アサヒ化学研究所