特許
J-GLOBAL ID：200903028984133240

感光性材料

発明者：
信田 直美

信田 直美 について

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後河内 透

後河内 透 について

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内藤 卓哉

内藤 卓哉 について

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中瀬 真

中瀬 真 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-185046
公開番号（公開出願番号）：特開平8-082925
出願日： 1995年06月29日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】【目的】 単波長光源に対して透明性が優れ、かつ十分なドライエッチング耐性を有する感光性材料を提供する。【構成】 テルペノイド骨格を有する化合物を含有する感光性材料である。前記テルペノイド骨格は、下記化1に示す一般式(1)で表される1価のメンチル基またはメンチル誘導体基を有する化合物を含むことが好ましい。【化1】(上記一般式(1)中、Rは、水素原子または1価の炭化水素基である。R1は、互いに同一であっても異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基、水酸基、アルコキシル基、アミノ基、イミド基、アミド基、スルホニル基、カルボキシル基、カルボニル基、スルホンアミド基であり、R1同士は、互いに結合して環を形成していてもよい。)
請求項（抜粋）：
テルペノイド骨格を有する化合物を含有することを特徴とする感光性材料。
IPC (7件)：
G03F 7/004 503 ,  C08F 20/16 MMG ,  C08F 22/12 MMJ ,  C08L 33/06 LHT ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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