特許
J-GLOBAL ID：200903008653921264
熱処理炉及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
絹谷 信雄
, 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-146733
公開番号（公開出願番号）：特開2008-300722
出願日： 2007年06月01日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：
【課題】抵抗発熱体の熱膨張収縮時の支持体と抵抗発熱体との間の摩擦抵抗を低減して抵抗発熱体の残留応力による永久歪の発生を抑制し、耐久性の向上を図る。【解決手段】被処理体wを収容して熱処理するための処理容器3を囲繞する筒状の断熱材4と、該断熱材4の内周面に沿って配置される螺旋状の抵抗発熱体5と、上記断熱材4の内周面に軸方向に沿って設けられ抵抗発熱体5を所定ピッチで支持する支持体13と、上記抵抗発熱体5の外側に軸方向に適宜間隔で配置され断熱材4を径方向に貫通して外部に延出された複数の端子板14とを備えた熱処理炉において、上記支持体13は抵抗発熱体5の内側に位置する基部17と、該基部17から抵抗発熱体5のピッチ間を通って炉の半径方向外方へ延出する複数の支持片18とを有するように櫛状に形成され、該支持片18の上面部が抵抗発熱体5の熱膨張収縮移動時の摩擦抵抗を低減するべく曲面状に形成されている。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
被処理体を収容して熱処理するための処理容器を囲繞する筒状の断熱材と、該断熱材の内周面に沿って配置される螺旋状の抵抗発熱体と、上記断熱材の内周面に軸方向に沿って設けられ抵抗発熱体を所定ピッチで支持する支持体と、上記抵抗発熱体の外側に軸方向に適宜間隔で配置され断熱材を径方向に貫通して外部に延出された複数の端子板とを備えた熱処理炉において、上記支持体は抵抗発熱体の内側に位置する基部と、該基部から抵抗発熱体のピッチ間を通って炉の半径方向外方へ延出する複数の支持片とを有するように櫛状に形成され、該支持片の上面部が抵抗発熱体の熱膨張収縮移動時の摩擦抵抗を低減するべく曲面状に形成されていることを特徴とする熱処理炉。
IPC (6件)：
H01L 21/31
, F27D 11/02
, F27B 5/14
, H01L 21/22
, H05B 3/06
, H05B 3/66
H01L21/31 E
, F27D11/02 A
, F27B5/14
, H01L21/22 511A
, H05B3/06 C
, H05B3/66
3K092PP09
, 3K092QA04
, 3K092TT03
, 3K092TT06
, 3K092TT19
, 3K092TT36
, 3K092VV26
, 3K092VV36
, 4K061AA01
, 4K061BA11
, 4K061CA08
, 4K061DA05
, 4K061GA09
, 4K063AA05
, 4K063CA05
, 4K063FA08
, 4K063FA18
, 4K063FA27
, 5F045AA20
, 5F045DP19
, 5F045DQ05
, 5F045EJ04
, 5F045EJ10
, 5F045EK06
