特許
J-GLOBAL ID：200903008681796955

硬化型組成物

発明者：
五十嵐 一郎

五十嵐 一郎 について

, 
水谷 邦彦

水谷 邦彦 について


出願人/特許権者：
東亞合成株式会社

東亞合成株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-242926
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066771
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：
【要約】【課題】 高温下の2次エッチングにおいても硬化膜が耐エッチング性、アルカリ溶解・剥離性及びパターン形成性等に優れるエッチングレジスト用硬化型組成物の提供。【解決手段】 下記化合物(a)および化合物(b)を主構成成分とするエッチングレジスト用硬化型組成物。(a)1分子中に1個のカルボキシル基と1個の(メタ)アクリロイル基を有する化合物(b)ビスフェノールAの1分子あたりアルキレンオキサイド単位が2〜3個付加してなる2価アルコールに(メタ)アクリル酸がエステル化してなるジ(メタ)アクリレート
請求項（抜粋）：
下記化合物(a)および化合物(b)を主構成成分とするエッチングレジスト用硬化型組成物。(a)1分子中に1個のカルボキシル基と1個の(メタ)アクリロイル基を有する化合物(b)ビスフェノールAの1分子あたりアルキレンオキサイド単位が2〜3個付加してなる2価アルコールに(メタ)アクリル酸がエステル化してなるジ(メタ)アクリレート
IPC (6件)：
G03F 7/027 502 ,  C08F 2/48 ,  C08F220/20 ,  C08F220/26 ,  G03F 7/36 ,  H01J 9/14
FI (6件)：
G03F 7/027 502 ,  C08F 2/48 ,  C08F220/20 ,  C08F220/26 ,  G03F 7/36 ,  H01J 9/14 G
Fターム (36件)：
2H025AA00 ,  2H025AA03 ,  2H025AA16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC06 ,  2H025AD01 ,  2H025BC12 ,  2H025BC14 ,  2H025BC32 ,  2H025BC34 ,  2H025BC43 ,  2H025BC81 ,  2H025BC85 ,  2H025CA01 ,  2H025CA35 ,  2H025FA40 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096EA06 ,  2H096HA17 ,  2H096JA01 ,  4J011QA03 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA34 ,  4J011QA35 ,  4J011QB16 ,  4J011SA01 ,  4J011SA14 ,  4J011SA16 ,  4J011SA84 ,  4J011WA01 ,  5C027HH07 ,  5C027HH11
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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