半導体製造装置の静電チャック用電源および半導体製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-054499
公開番号（公開出願番号）：特開平8-250579
出願日： 1995年03月14日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】半導体ウエハに微少な帯電特性の差があっても、離脱時に確実に離脱が行えるように静電チャックのチャージ電荷を確実に放電させる静電チャック用電源を提供することを目的とする【構成】半導体ウエハ離脱時に半導体ウエハの特性を考慮して、振動波形信号発生器118からの所望の振動波形信号と、減衰波形信号発生器120からの所望の減衰波形信号とを乗算器117で組み合わせて所望の減衰振動波形を選択して発生し、また出力分割回路104および減算素子111により、静電チャック用電源の出力をフィードバックして制御入力信号との間で閉ループを構成してフィードバック制御を行い、正確な減衰振動波形の電圧を出力する。

請求項（抜粋）：

半導体製造装置の真空チャンバ内に対向して設けられた一対の上電極および下電極のうち、誘電体からなる静電チャックを半導体ウエハとの間に介在するように設けた上記下電極に電圧を印加して、上記静電チャックを帯電、放電させることにより、これに半導体ウエハを吸着、離脱させる、半導体製造装置の静電チャック用電源であって、直流主電源と、この直流主電源を開閉するスイッチング用パワートランジスタと、このパワートランジスタの入力を昇圧する昇圧トランスと、この昇圧トランスの出力の整流および極性の切り換えを行う整流/極性切換部と、この整流/極性切換部の整流出力を平滑するフィルタ回路部と、このフィルタ回路部の出力電圧を上記上電極と下電極に対して印加する給電回路部と、この給電回路部の出力を短絡する出力短絡部と、上記スイッチング用パワートランジスタのオン/オフ制御を行うPWM用制御増幅器と、複数の振動波形信号を選択的に発生する振動波形信号発生部と、複数の減衰波形信号を選択的に発生する減衰波形信号発生部と、上記振動波形信号と減衰波形信号とを乗算して減衰振動信号を発生する乗算部と、上記吸着時には吸着用の所定の吸着時制御信号を、上記離脱時には上記乗算部の減衰振動信号を、それぞれ上記PWM用制御増幅器に供給する信号切換部と、上記信号切換部の出力に従って上記整流/極性切換部の極性切り換えを行う極性切換制御部と、上記給電回路部の出力を上記PWM用制御増幅器の入力として負帰還する負帰還回路部と、を備えた半導体製造装置の静電チャック用電源。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H01L 21/3065 , H02M 3/28

FI (4件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , H02M 3/28 H , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (10件)

改良された静電チヤック
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-123907 出願人：ユニサーチ・リミテッド
特開平2-285980
特開昭62-044332

全件表示

前のページに戻る