薄膜又は粉末製造方法、薄膜又は粉末製造装置、非水電解質二次電池用電極材の製造方法、非水電解質二次電池用電極及び非水電解質二次電池

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：重野剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-182325
公開番号（公開出願番号）：特開2009-019233
出願日： 2007年07月11日
公開日（公表日）： 2009年01月29日
要約：

【課題】気相成長速度が速く、安価で生産性に優れ、且つ、原料物質が加熱される際の熱から基体や成膜物を保護できる薄膜又は粉末製造方法、薄膜又は粉末製造装置、及び非水電解質二次電池用電極材の製造方法、並びに非水電解質二次電池用電極材を用いた非水電解質二次電池用電極及び非水電解質二次電池を提供する。【解決手段】容器2内の原料物質3を加熱源4により減圧下で600°C以上に加熱して蒸発させ、原料物質3の蒸気を基体16上に凝縮させて気相成長させる薄膜の製造方法において、容器2と基体16との間に断熱部材7を設置し、原料物質3の加熱源4からの熱による基体16の加熱を抑制する。この断熱部材7に開口部を設け、蒸気を開口部を通して基体16に導く。この断熱部材7は、熱伝導および輻射熱を軽減するための多孔性の断熱材を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

容器内の原料物質を加熱源により減圧下で600°C以上に加熱して蒸発させ、該原料物質の蒸気を基体上に凝縮させて気相成長させる薄膜の製造方法において、該容器と基体との間に断熱部材を設置し、該原料物質の蒸発時における前記加熱源による基体の加熱を抑制することを特徴とする薄膜製造方法。

IPC (4件)：

C23C 14/06 , H01M 4/58 , H01M 4/48 , C23C 14/00

FI (4件)：

C23C14/06 E , H01M4/58 101 , H01M4/48 101 , C23C14/00 A

Fターム (29件)：

4K029AA02 , 4K029BA52 , 4K029BB10 , 4K029CA01 , 4K029DB02 , 4K029DB18 , 4K029GA05 , 5H050AA19 , 5H050CA02 , 5H050CA05 , 5H050CA07 , 5H050CA08 , 5H050CA09 , 5H050CA11 , 5H050CA14 , 5H050CB01 , 5H050CB02 , 5H050FA02 , 5H050FA05 , 5H050FA17 , 5H050GA02 , 5H050GA05 , 5H050GA24 , 5H050GA26 , 5H050GA27 , 5H050GA29 , 5H050HA12 , 5H050HA14 , 5H050HA15

引用特許：

出願人引用 (10件)

特許第3451694号公報
真空蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-146685 出願人：三菱重工業株式会社
リチウム二次電池用電極の製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-184599 出願人：三洋電機株式会社

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審査官引用 (9件)

リチウム二次電池用電極の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-398533 出願人：三洋電機株式会社
特開平1-110724
極板及び電池の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-183128 出願人：松下電器産業株式会社

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