特許
J-GLOBAL ID：200903008755502800
超高純度窒素及び酸素の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-124693
公開番号（公開出願番号）：特開平9-184681
出願日： 1996年05月20日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：
【要約】【課題】 超高純度の液体窒素及び超高純度の液体酸素を同時に製造することができる装置を提供する。【解決手段】 第一の精留塔6の内部は、上部精留部12、中間精留部13及び下部精留部14に区画され、上部精留部の上部11には窒素凝縮器8が接続されている。第二の精留塔7は、精留部22の下部にリボイラ24を備える。第一の精留塔6の上部精留部12と中間精留部13の間から超高純度液体窒素を回収する。中間精留部13と下部精留部14の間から回収した高沸点成分を含まない液体空気を、膨張弁32で減圧した後、第二の精留塔7の精留部22の上部に供給して、精留部の下部に設けられたリボイラ24によって気化させたガスと向流接触させて、低沸点成分を分離して、第二の精留塔7の精留部22の下部から超高純度液体酸素を回収する。
請求項（抜粋）：
上から順に第一上部空間部、上部精留部、中間精留部、下部精留部及び第一下部空間部を備えた第一の精留塔と、第二上部空間部、精留部及び第二下部空間部を備えた第二の精留塔と、原料となる空気を冷媒との間接熱交換により冷却して下部精留部の下部へ供給する主熱交換器と、高純度液体窒素を還流液として上部精留部の上部へ供給する高純度液体窒素供給配管と、第一上部空間に溜まった高純度窒素ガスを導入して冷却し、凝縮した高純度液体窒素を上部精留部の上部へ還流液の一部として供給するとともに、未凝縮ガスを系外へ排出する窒素凝縮器と、第一下部空間部に溜まった酸素リッチ液体空気を導入して減圧し、発生した酸素リッチ廃ガスを窒素凝縮器へ冷媒として供給する第一の膨張弁と、窒素凝縮器で冷媒として使用された後、排出された酸素リッチ廃ガスを前記主熱交換器へ冷媒として供給する酸素リッチ廃ガス配管と、上部精留部と中間精留部の間から還流液の一部を超高純度液体窒素として回収する超高純度窒素払出し配管と、中間精留部と下部精留部の間から還流液の一部を導入して減圧し、発生した気液混合物を第二精留塔の精留部の上部へ供給する第二の膨張弁と、第二下部空間部に設置され、第二下部空間部に溜まった液体を加熱して、その一部を気化させるリボイラと、第二上部空間部に溜まったガスを系外へ排出する廃ガス配管と、第二下部空間部に溜まった液体を超高純度液体酸素として回収する超高純度酸素払出し配管とを備えたことを特徴とする超高純度窒素及び酸素の製造装置。
引用特許：
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