多方向映写式モアレ干渉計及びこれを用いた検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (13件)：特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ , 鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 峰隆司 , 福原淑弘 , 白根俊郎 , 村松貞男 , 野河信久 , 砂川克 , 橋本良郎 , 風間鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-292986
公開番号（公開出願番号）：特開2008-281543
出願日： 2007年11月12日
公開日（公表日）： 2008年11月20日
要約：

【課題】多方向からパターン照明を検査対象物に照射する多方向映写式モアレ干渉計及びこれを用いた検査方法を提供する。【解決手段】この干渉計は、検査対象物(1)をX、Y方向に移動させるX-Yステージ(10)と、X-Yステージに位置した検査対象物(1)で反射されるパターン映像を撮影する結像部(110)と、パターン照明を照射受けて光経路を変更させて照射する第1回転鏡部(120)並びに第2回転鏡部(130)と、第1並びに第2回転鏡部から夫々照射されるパターン照明を検査対象物に照射する多数の第1並びに第2固定鏡部(140,150、160,170)と、第1及び第2回転鏡部(120,130)にパターン照明を照射させるパターン照明を発生する第1パターン照明発生部(180)と、を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

多数個のステージ移送機構によって移動可能に設けられ検査対象物をX、Y方向に移動させるX-Yステージと、前記X-Yステージの上側に設けられX-Yステージに位置した検査対象物で反射されるパターン映像を撮影する結像部と、前記結像部に設けられパターン照明を照射受けて光経路を変更させて照射する第1及び第2回転鏡部と、前記第1及び第2回転鏡部にそれぞれ設けられ?第1及び第2回転鏡部から照射されるパターン照明を検査対象物に照射する複数個の第1及び第2固定鏡部と、前記第1及び第2回転鏡部にパターン照明を照射させることができるように設置されパターン照明を発生する第1パターン照明発生部と、から構成されて、前記第1及び第2回転鏡部は、各々回転鏡の一端が互いに垂直方向に対向するように複層に配列される回転鏡素子を備えて、前記回転鏡素子はそれぞれ鏡回転機構と、前記鏡回転機構の上側に回転可能に設置されるホルダと、前記ホルダに設置され前記鏡回転機構によって前記ホルダに支持された状態で回転される回転鏡と、を具備することを特徴とする多方向映写式モアレ干渉計。

IPC (1件)：

G01B 11/25

FI (1件)：

G01B11/25 G

Fターム (13件)：

2F065AA53 , 2F065FF06 , 2F065FF51 , 2F065GG07 , 2F065GG13 , 2F065GG17 , 2F065HH12 , 2F065LL15 , 2F065LL22 , 2F065LL24 , 2F065LL33 , 2F065LL41 , 2F065PP12

引用特許：

審査官引用 (5件)

3次元形状測定方法及び測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-090427 出願人：シチズン時計株式会社, 有限会社ソフトロン
3次元形状測定装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2005-518448 出願人：コーヤングテクノロジーインコーポレイテッド
特開昭56-125606

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