静電チャック及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-240392
公開番号（公開出願番号）：特開平8-191099
出願日： 1995年09月20日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【課題】静電チャックの吸着力となる誘電体の分極の状態を監視することによって、脱離時の吸着力を最適時間で適性範囲内に抑えることである。【解決手段】静電チャックの誘電体1の吸着力を第2電極4及び測定回路10を介して測定し、その結果に基づいて脱離時の静電チャック用電極2に印加する直流電源3による電圧を制御回路11を介して制御するようにした。

請求項（抜粋）：

誘電体と、該誘電体内に設けられた静電チャック用電極とを含む静電チャックにおいて、前記誘電体の吸着力を検出するための第2の電極が設けられていることを特徴とする静電チャック。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H01L 21/203 , H01L 21/027 , H02N 13/00

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-216650
特開平4-073950
特開昭59-135741

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