特許
J-GLOBAL ID:200903008955632849
記憶装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-333492
公開番号(公開出願番号):特開2001-156183
出願日: 1999年11月24日
公開日(公表日): 2001年06月08日
要約:
【要約】【課題】 大容量であるにもかかわらず、高集積度、少配線である記憶装置を、実現することを目的とする。【解決手段】 第1の配線と第2の配線と第3の配線が、3次元空間で互いに直交する3平面上に形成され、各配線の交点に、記憶素子が形成される。3次元行列で表されるデータD(i,j,k)が、i番目の第1の配線と、j番目の第2の配線と、k番目の第3の配線との交点に形成されている、記憶素子に記憶される。記憶素子が、トランジスタと静電容量で構成されている。トランジスタが、薄膜トランジスタである。薄膜トランジスタが、摂氏600度以下の低温プロセスで形成される。トランジスタが、剥離基板上に一旦形成されたトランジスタを剥離し、他の基板上に転写することにより形成される。
請求項(抜粋):
第1の配線と第2の配線と第3の配線が、3次元空間で互いに直交する3平面上に形成され、各配線の交点に、記憶素子が形成されていることを特徴とする、記憶装置。
IPC (5件):
H01L 21/8242
, H01L 27/108
, H01L 21/3205
, H01L 27/00 301
, H01L 29/786
FI (6件):
H01L 27/00 301 C
, H01L 27/10 321
, H01L 21/88 Z
, H01L 27/10 671 C
, H01L 27/10 681 Z
, H01L 29/78 613 B
Fターム (40件):
5F033NN37
, 5F033UU05
, 5F033VV16
, 5F033XX00
, 5F083AD02
, 5F083AD11
, 5F083AD21
, 5F083AD69
, 5F083GA10
, 5F083HA02
, 5F083HA06
, 5F083PR03
, 5F083PR21
, 5F083PR23
, 5F110AA04
, 5F110AA17
, 5F110BB06
, 5F110BB11
, 5F110CC02
, 5F110EE37
, 5F110EE44
, 5F110FF02
, 5F110FF30
, 5F110GG02
, 5F110GG04
, 5F110GG13
, 5F110GG15
, 5F110GG45
, 5F110GG47
, 5F110HJ13
, 5F110HL23
, 5F110HM19
, 5F110NN02
, 5F110NN03
, 5F110NN23
, 5F110NN35
, 5F110NN36
, 5F110PP03
, 5F110QQ11
, 5F110QQ19
引用特許:
出願人引用 (4件)
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特開昭62-259285
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特開平4-162665
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剥離方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-300371
出願人:セイコーエプソン株式会社
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剥離方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-300373
出願人:セイコーエプソン株式会社
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審査官引用 (8件)
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特開昭62-259285
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特開昭62-259285
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特開昭62-259285
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特開平4-162665
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特開平4-162665
-
特開平4-162665
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剥離方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-300371
出願人:セイコーエプソン株式会社
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剥離方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-300373
出願人:セイコーエプソン株式会社
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