基板処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-134808
公開番号（公開出願番号）：特開平11-329912
出願日： 1998年05月18日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】搬送ロボットの状況を含む基板処理装置内部の各部の状況をオペレータが容易に確認することができること。【解決手段】搬送ロボットTR1の周囲に複数の処理ユニットが積層配置されている。搬送ロボットTR1は、基板を保持して各処理ユニットに順次搬送することにより、基板に対する一連の処理を施す。搬送ロボットTR1の上方にカメラ10が取り付けられる。カメラ10は、移動機構7により搬送ロボットTR1が設けられた空間を移動することができる。すなわち、鉛直方向に昇降するとともに、水平面内で回転し、さらに、揺動可能である。これにより、カメラ10は、基板処理装置内部の任意の位置を撮影することができる。オペレータは、カメラ10が撮影した映像を確認することにより、搬送ロボットTR1の状況だけでなく、各処理ユニットの内部の状況までをも容易に確認することができる。

請求項（抜粋）：

基板に対して所定の処理を施す装置であって、(a) 基板を保持して搬送する搬送ロボットと、(b) 前記搬送ロボットの周囲に配置された複数の処理部と、(c) 前記搬送ロボットの状況を含む装置内を撮影するカメラと、を備えることを特徴とする基板処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/00 , B65G 49/07 , H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/00 , B65G 49/07 C , H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

リソグラフィー装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-072598 出願人：株式会社ニコン
カメラ監視装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-166119 出願人：シャープ株式会社
クレーン用監視カメラ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-180636 出願人：井上敏男

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