特許
J-GLOBAL ID：200903013599614370
リソグラフィー装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-072598
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260261
出願日： 1996年03月27日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 異常が発生したときその過程や原因を知ることができ、また異常状態からの回復を自動的に行うことのできるリソグラフィ装置を提供する。【解決手段】 監視用のテレビカメラ等の撮像手段71,73,75,77を監視すべき工程の必要個所に配置し、各撮像手段からの画像信号を画像処理装置81によって画像処理することで異常を検知する。主制御装置87は、画像処理装置から異常発生の信号と分析結果等を受け、ウエハリジェクション装置43を用いて可能な限り自動回復を行う。
請求項（抜粋）：
装置内の所定の工程部分を監視する撮像手段と、前記撮像手段の出力を用いて工程の異常を検出する異常検出手段と、異常の回復を行う異常回復手段と、工程を管理する管理手段とを備え、前記管理手段は前記異常検出手段が工程の異常を検出したとき前記異常回復手段によって異常回復を行うことを特徴とするリソグラフィー装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68
H01L 21/30 514 D
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68 A
, H01L 21/30 502 J
