圧電式インクジェットプリンタヘッドとその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-228015
公開番号（公開出願番号）：特開2003-053974
出願日： 2002年08月05日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：

【要約】【課題】成品歩留りを向上させ、亀裂およびクロストーク現象を防止する圧電式インクジェットプリンタヘッドとその製造方法を提供する。【解決手段】主要には、電気メッキ(plating)、物理気相堆積法(PVD)または化学気相堆積法(CVD)により金属振動層を基板の上面に形成するが、基板の種類は、シリコン基板、セラミック基板または金属基板などとし、フォトリソグラフィ・エッチングにより基板に少なくとも1つの溝孔を基板の上下面を貫通するように形成してから、基板の下面に少なくとも1つのノズル孔を有するノズルプレートを配置すると同時に、基板の溝孔を被覆して圧電式インクジェットプリンタヘッドのインクチャンバとする。

請求項（抜粋）：

第1面および対応する第2面を有するとともに、少なくとも1つの溝孔を有するものであって、前記溝孔により貫通され、かつ前記第1面ならびに前記第2面が連接される基板と、前記基材の前記第1面に配置される金属振動層と、前記金属振動層の上に配置され、その位置が前記溝孔の位置に対応するパターン化された下位電極層と、前記下位電極層の上に配置されるパターン化された圧電層と、前記圧電層の上に配置されるパターン化された上位電極層と、前記基板の前記第2面に配置され、前記基板および前記金属振動層と一緒にインクチャンバを構成するものであって、少なくとも1つのノズル孔を有して前記インクチャンバに連通するノズルプレートとを具備する圧電式インクジェットプリンタヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

Fターム (11件)：

2C057AF40 , 2C057AF93 , 2C057AG53 , 2C057AP02 , 2C057AP23 , 2C057AP31 , 2C057AP53 , 2C057AP55 , 2C057AQ02 , 2C057BA04 , 2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (5件)

インクジェットヘッドおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-246773 出願人：セイコーエプソン株式会社
インクジェットプリントヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-155520 出願人：日本電気株式会社
インクジェットヘッド及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-231721 出願人：株式会社リコー

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