積層型圧電体素子

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：高橋祥泰 , 岩倉民芳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-004475
公開番号（公開出願番号）：特開2004-266260
出願日： 2004年01月09日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：

【課題】内部電極材料に安価なCuを用いてコストダウンを図ることができ、かつ、電気伝達効率に優れると共に内部電極層の強度低下を防止することができる積層型圧電体素子を提供すること。【解決手段】内部電極層21は、50wt%以上のCu元素を含有していると共に、内部電極層21の圧電層11との界面の面積をA、当該界面に現れる0.1μm以上の径を有する空孔の面積の合計面積をBとした場合、(B/A)×100(%)で表されるポア発生率が5%以下である。内部電極層21の厚みをC(μm)とした場合に、内部電極層21と接する圧電層11の境界面の表面粗さ(算術平均粗さ)Raは、0.5・C(μm)以下であることが好ましい。圧電層11を構成する圧電材料は、主にPb(Zr、Ti)O3系のペロブスカイト構造の酸化物であるPZTよりなることが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電材料よりなる圧電層とCuを含有する内部電極層とを交互に積層してなる積層型圧電体素子において、上記内部電極層は、50wt%以上のCu元素を含有していると共に、上記内部電極層の上記圧電層との界面の面積をA、当該界面に現れる0.1μm以上の径を有する空孔の面積の合計面積をBとした場合、(B/A)×100(%)で表されるポア発生率が5%以下であることを特徴とする積層型圧電体素子。

IPC (4件)：

H01L41/083 , H01L41/187 , H01L41/22 , H02N2/00

FI (5件)：

H01L41/08 Q , H02N2/00 B , H01L41/08 S , H01L41/18 101D , H01L41/22 Z

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭54-14096号公報
特開昭57-30308号公報

審査官引用 (7件)

電歪式アクチユエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-283180 出願人：日本電装株式会社
積層一体焼成型の電気機械変換素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-376242 出願人：株式会社デンソー, 株式会社日本自動車部品総合研究所
照明付き電動工具
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-215391 出願人：九州日立マクセル株式会社

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