積層一体焼成型の電気機械変換素子

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高橋祥泰 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-376242
公開番号（公開出願番号）：特開2002-261344
出願日： 2001年12月10日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：

【要約】【課題】 Ag-Pd系電極と同等以上の電極特性を有し,かつ低コストの電極材料を用いた積層一体焼成型の電気機械変換素子,特に,セラミック層と電極層との接合強度に優れたものを提供すること。【解決手段】圧電セラミックスあるいは電歪セラミックスよりなる複数層のセラミック層1と,セラミック層1間に介在させた内部電極層21,22とを一体的に焼成してなる積層体10を有する積層一体焼成型の電気機械変換素子1において,積層体10の積層方向の断面に露出する内部電極21,22の全長に対する電極形成部分の割合で示す電極形成率が75%以上であり,かつ内部電極21,22とセラミック層11との接合強度が40MPa以上である。

請求項（抜粋）：

圧電セラミックスあるいは電歪セラミックスよりなる複数層のセラミック層と,該セラミック層間に介在させた内部電極層とを一体的に焼成してなる積層体を有する積層一体焼成型の電気機械変換素子において,上記積層体の積層方向の断面に露出する上記内部電極の全長に対する電極形成部分の割合で示す電極形成率が75%以上であり,かつ上記内部電極と上記セラミック層との接合強度が40MPa以上であることを特徴とする積層一体焼成型の電気機械変換素子。

IPC (6件)：

H01L 41/083 , C04B 35/49 , F02M 51/00 , H01L 41/09 , H01L 41/107 , H01L 41/187

FI (6件)：

C04B 35/49 L , F02M 51/00 E , H01L 41/08 Q , H01L 41/18 101 D , H01L 41/08 U , H01L 41/08 A

Fターム (32件)：

3G066AA07 , 3G066AB02 , 3G066AC09 , 3G066AD12 , 3G066BA33 , 3G066BA46 , 3G066BA61 , 3G066CC06T , 3G066CC14 , 3G066CC64U , 3G066CC66 , 3G066CC67 , 3G066CC68T , 3G066CC68U , 3G066CC69 , 3G066CC70 , 3G066CD15 , 3G066CD17 , 3G066CD18 , 3G066CD28 , 3G066CD30 , 3G066CE13 , 3G066CE27 , 3G066CE31 , 4G031AA11 , 4G031AA12 , 4G031AA17 , 4G031AA18 , 4G031AA32 , 4G031AA39 , 4G031BA10 , 4G031CA03

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開平4-253384
多層圧電素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-286118 出願人：株式会社住友金属エレクトロデバイス
積層型電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-230586 出願人：株式会社村田製作所

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