積層一体焼成型の電気機械変換素子

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高橋祥泰 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-376244
公開番号（公開出願番号）：特開2002-261346
出願日： 2001年12月10日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：

【要約】【課題】 Ag-Pd系電極と同等以上の電極特性を有し,かつ低コストの電極材料を用いた積層一体焼成型の電気機械変換素子,特に,耐マイグレーション性に優れたものを提供すること。【解決手段】複数層のセラミック層11と,セラミック層11間に介在させた内部電極層21,22とを一体的に焼成してなる積層体を有する積層一体焼成型の電気機械変換素子1において,内部電極層21,22は,大気中で酸化物が安定な金属を主成分として含有し,該金属の1molあたりのイオン化ポテンシャルをA(kJ/mol),蒸発熱エネルギーをB(kJ/mol),該金属の酸化物の蒸発熱エネルギーをC(kJ/mol)としたときに(A+B)×Cの値が-34000(kJ/mol)2以下である。

請求項（抜粋）：

圧電セラミックスあるいは電歪セラミックスよりなる複数層のセラミック層と,該セラミック層間に介在させた内部電極層とを一体的に焼成してなる積層体を有する積層一体焼成型の電気機械変換素子において,上記内部電極層は,大気中で酸化物が安定な金属を主成分として含有し,該金属の1molあたりのイオン化ポテンシャルをA(kJ/mol),蒸発熱エネルギーをB(kJ/mol),該金属の酸化物の蒸発熱エネルギーをC(kJ/mol)としたときに(A+B)×Cの値が-34000(kJ/mol)2以下であることを特徴とする積層一体焼成型の電気機械変換素子。

IPC (7件)：

H01L 41/083 , C04B 35/49 , F02M 47/02 , F02M 51/00 , F03G 7/00 , H01L 41/09 , H01L 41/187

FI (7件)：

C04B 35/49 A , F02M 47/02 , F02M 51/00 E , F03G 7/00 H , H01L 41/08 Q , H01L 41/08 U , H01L 41/18 101 D

Fターム (37件)：

3G066AA07 , 3G066AB02 , 3G066AC09 , 3G066AD12 , 3G066BA19 , 3G066BA33 , 3G066BA46 , 3G066BA61 , 3G066CC06T , 3G066CC14 , 3G066CC30 , 3G066CC64U , 3G066CC68T , 3G066CC68U , 3G066CC69 , 3G066CC70 , 3G066CD15 , 3G066CD17 , 3G066CD18 , 3G066CD28 , 3G066CD30 , 3G066CE13 , 3G066CE27 , 3G066CE31 , 4G031AA03 , 4G031AA04 , 4G031AA05 , 4G031AA08 , 4G031AA11 , 4G031AA12 , 4G031AA14 , 4G031AA18 , 4G031AA19 , 4G031AA32 , 4G031AA39 , 4G031BA10 , 4G031CA07

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-324687
積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-094116 出願人：日産自動車株式会社
積層型電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-230586 出願人：株式会社村田製作所

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