半導体レーザジャイロ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：鎌田耕一 , 黒田茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-010583
公開番号（公開出願番号）：特開2006-200934
出願日： 2005年01月18日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：

【課題】回転方向の検出が容易であり、小型で信頼性が高い半導体レーザジャイロを提供する。【解決手段】基板と、基板上に形成され第1および第2のレーザ光を出射する半導体レーザ20と、第1および第2のレーザ光L1およびL2を多角形の経路を互いに逆方向に周回させるための複数の光学素子(フレネルレンズ30aおよび30b、ミラー40aおよび40b)と、第1および第2の光によって干渉縞が形成される位置に配置された光検出器70aおよび70bとを備える。基板上に基板側から順に配置された第1および第2の層を含む積層部と、第1および第2の層を第2の層側に曲げることによって形成された起立部とを含み、積層部および起立部は、それぞれ、格子定数が異なる複数の層を含む。第1および第2の層は、上記複数の層における格子定数の差によって生じた力によって曲げられており、複数の光学素子の少なくとも1つが起立部に形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に形成され第1および第2のレーザ光を出射する半導体レーザと、前記第1および第2のレーザ光を多角形の経路を互いに逆方向に周回させるための複数の光学素子と、前記第1および第2の光によって干渉縞が形成される位置に配置された光検出器とを備える半導体レーザジャイロであって、前記基板上に前記基板側から順に配置された第1および第2の層を含む積層部と、前記第1および第2の層を前記第2の層側に曲げることによって形成された起立部とを含み、前記積層部および前記起立部は、それぞれ、格子定数が異なる複数の層を含み、前記第1および第2の層は、前記複数の層における格子定数の差によって生じた力によって曲げられており、前記複数の光学素子の少なくとも1つが前記起立部に形成されている半導体レーザジャイロ。

IPC (3件)：

G01C 19/72 , H01S 5/026 , H01S 5/10

FI (3件)：

G01C19/72 C , H01S5/026 610 , H01S5/10

Fターム (18件)：

2F105AA01 , 2F105AA02 , 2F105AA03 , 2F105AA08 , 2F105AA10 , 2F105BB13 , 2F105DD11 , 2F105DE01 , 2F105DE04 , 2F105DE21 , 2F105DE23 , 2F105DE30 , 5F173AB49 , 5F173AD20 , 5F173AH03 , 5F173AH14 , 5F173AH22 , 5F173AQ01

引用特許：

出願人引用 (4件)

リングレーザジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-164666 出願人：日本航空電子工業株式会社
光ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-033277 出願人：キヤノン株式会社
特開平4-174317号公報

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