特許
J-GLOBAL ID：200903009203208475

透光性物質の不均一性検査方法及びその装置並びに透明基板の選別方法

発明者：
田辺 勝

田辺 勝 について


出願人/特許権者：
ホーヤ株式会社

ホーヤ株式会社 について


代理人 (1件)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-200980
公開番号（公開出願番号）：特開平11-242001
出願日： 1998年07月15日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：
【要約】【課題】 透光性物質の傷等の不均一性(欠陥)を高感度、高速度に検出できる。【解決手段】 レーザー2からのレーザー光Lをミラー31、32を用いて透明基板1内にその導入面から導入する。透明基板1内に導入されたレーザー光は、透明基板1の表面(主表面及び端面)で全反射を繰り返し、基板1内にほぼ閉じ込められた状態となる。しかし、透明基板1表面に傷等の不均一部分があると、全反射条件が満足されずに、その不均一部分から光が漏れ出る。この漏れ出た光をレンズ系7でCCD6に結像し画像処理装置12で画像処理する。検出された画像は、真っ暗な背景に傷等がある不均一部分が線状、点状など輝いて見えるもので、極めて微細な傷等の不均一性部分を検出できる。
請求項（抜粋）：
透光性物質内にレーザー光を導入して透光性物質の不均一性を検査する方法において、前記透光性物質は、透光性物質内に導入したレーザー光が全反射を繰り返す互いに対向する少なくとも一組の全反射面と、全反射面の間を全反射を繰り返して進行するレーザー光の進行方向に対向するように設けられ、前記レーザー光を全反射して前記全反射面へと戻す少なくとも一組の折返し面とを備え、前記透光性物質内の光路が光学的に均一の場合には、透光性物質内を伝播して前記全反射面及び前記折返し面に入射するレーザー光が全反射をして、且つ、少なくとも一組の折返し面の間で反復するようにレーザー光を伝播させ、伝播することによって形成される前記全反射面と前記折返し面で囲まれた被検査領域でレーザー光が行き渡るようにレーザー光を導入し、前記透光性物質内に導入され伝播するレーザー光の光路中に不均一部分が存在するときに、前記全反射面及び/又は前記折返し面から漏出する光を検出することから透光性物質の不均一性を検査するようにしたことを特徴とする透光性物質の不均一性検査方法。
IPC (2件)：
G01N 21/88 ,  G03F 1/08
FI (2件)：
G01N 21/88 D ,  G03F 1/08 S
引用特許：
出願人引用 (4件)
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