特許
J-GLOBAL ID：200903009213364637

動作検査システムおよびそれに使用する治具

発明者：
渡辺 吉彦

渡辺 吉彦 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-031296
公開番号（公開出願番号）：特開2000-232145
出願日： 1999年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：
【要約】【課題】 基板搬送装置の搬送動作を適切に行うことができるか否かを判定すること。【解決手段】 基板処理装置内部に設けられる基板搬送装置のアーム31b上に基板とほぼ同形状の治具200をセットする。治具200上にはアーム31b前方の障害物を非接触で検出する検出センサ230が設けられる。この状態で、アーム31bを処理ユニットの開口部3の手前まで移動させ、その位置でアーム31bを±Z方向および±θ方向に移動させつつ、検出センサ230の出力を監視する。そして開口部3の端部3a〜3dまでの移動量を読みとることにより、開口部3が設けられている位置を特定する。この特定された位置と設計値から導かれる開口部3の設けられるべき位置とのズレ量を求めることにより、基板搬送装置の搬送動作を適切に行うことができるか否かを判定することが可能となる。
請求項（抜粋）：
基板搬送装置が基板保持手段で基板を保持して所定の処理ユニットに対する基板の搬送を行い、前記処理ユニットで基板に対する所定の処理を行う基板処理装置において、前記基板搬送装置の搬送動作を適切に行うことができるか否かを判定する動作検査システムであって、前記基板保持手段に設けられ、前記搬送動作を行う際に動作軌跡付近に位置する検査対象物を非接触で検出する検出手段と、前記基板搬送装置の前記搬送動作を制御する制御手段と、を備え、前記制御手段は、前記基板搬送装置を所定方向に動作させつつ前記検出手段から与えられる検出結果に基づいて、前記検査対象物の位置を特定し、前記検査対象物の位置が所定位置であるか否かを判定することを特徴とする動作検査システム。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B25J 9/22 ,  B25J 13/08
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  B25J 9/22 A ,  B25J 13/08 A
Fターム (31件)：
3F059AA01 ,  3F059AA14 ,  3F059AA16 ,  3F059BC09 ,  3F059CA06 ,  3F059DA05 ,  3F059DC08 ,  3F059DD12 ,  3F059DD13 ,  3F059DE06 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA12 ,  5F031GA04 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031JA06 ,  5F031JA13 ,  5F031JA22 ,  5F031JA51 ,  5F031MA06 ,  5F031MA23 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031MA33 ,  5F031PA03 ,  5F031PA04
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-136027   出願人：テル・バリアン株式会社
  • ウェハ配列検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-288358   出願人：住友金属工業株式会社

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