特許

J-GLOBAL ID：200903009254235213

試験装置、試験方法、及び試験制御プログラム

発明者： 熊木 徳雄
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-084576
公開番号（公開出願番号）：特開2006-266835
出願日： 2005年03月23日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：

【課題】試験の制御に必要な中央処理装置の数を減少させることで、半導体試験装置の故障率を低下させる。【解決手段】複数の被試験デバイスの試験を行う複数の試験モジュールと、指定された動作モードに基づいて複数の試験モジュールの試験動作を制御する中央処理装置とを備える試験装置を提供する。この試験装置において、中央処理装置は、指定された動作モードが、複数の試験モジュールにより同一の試験を同時に並行して行わせる並行試験モードである場合には、予め定められた一の試験用プロセスを実行することより複数の試験モジュールにおける試験動作を制御する。一方、指定された動作モードが、複数の試験モジュールの各々により互いに異なる試験を独立して行わせる独立試験モードである場合には、複数の試験用プロセスを試験モジュール毎に切り替えて実行することにより複数の試験モジュールを並行して制御する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複数の被試験デバイスを試験する試験装置であって、 前記複数の被試験デバイスに接続され、当該複数の被試験デバイスの試験を行う複数の試験モジュールと、 指定された動作モードに基づいて、前記複数の試験モジュールの試験動作を制御する中央処理装置と を備え、 前記中央処理装置は、 指定された前記動作モードが、前記複数の試験モジュールにより同一の試験を同時に並行して行わせる並行試験モードである場合において、 予め定められた一の試験用プロセスを実行することより前記複数の試験モジュールの各々における試験動作を制御し、 指定された前記動作モードが、前記複数の試験モジュールの各々により互いに異なる試験を独立して行わせる独立試験モードである場合において、 試験モジュール毎に、当該試験モジュールを制御する試験用プロセスを実行し、複数の当該試験用プロセスを切り替えながら実行することにより前記複数の試験モジュールを並行して制御する試験装置。

IPC (1件)：

G01R 31/28

FI (1件)：

G01R31/28 H

Fターム (6件)：

2G132AA00 ,  2G132AE11 ,  2G132AE23 ,  2G132AE24 ,  2G132AL09 ,  2G132AL26

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 回路試験装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-274685   出願人：富士通株式会社
• イベント型テストシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-160109   出願人：株式会社アドバンテスト