特許
J-GLOBAL ID：200903009279042851
インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
河野 登夫
, 河野 英仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-086489
公開番号（公開出願番号）：特開2006-264147
出願日： 2005年03月24日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】 ノズル孔周辺に対する異物の付着防止と、ノズル孔の開口縁及び周辺を保護する凸部の形成とを同時的に行なうことができるインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッドを提供する。 【解決手段】 基板1の一面に撥インク膜2及びフォトレジスト層3を積層し、基板1の他面の側から孔開け加工を行なって基板1及び撥インク膜2を貫通するノズル孔Nを形成し(図5(a))、フォトマスクM2を用いて露光処理を行ない(図5(b))、ノズル孔N及びノズル孔N周辺に対向するフォトレジスト層3を、現像処理によって除去して凸部30,30を形成する(図5(c))。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
インクを噴射する複数のノズル孔が形成してあるノズルプレートを備えるインクジェットヘッドの製造方法において、
前記ノズルプレートとなすべき基板の一面の側に、フォトレジスト層を形成し、
前記基板の他面の側から、前記基板を貫通する前記ノズル孔を形成するための孔開け加工を行ない、
該孔開け加工によって形成されたノズル孔及び該ノズル孔の周辺と対向する前記フォトレジスト層を除去することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG04
, 2C057AG07
, 2C057AG15
, 2C057AP12
, 2C057AP13
, 2C057AP23
, 2C057AP25
, 2C057AP31
, 2C057AP57
, 2C057AP60
, 2C057AQ03
出願人引用 (2件)
-
特許第3108771号公報
-
インクジェットヘッド
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-116684
出願人：ブラザー工業株式会社
審査官引用 (5件)
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