特許
J-GLOBAL ID：200903009316144511

インクジェットプリンタにおける吐出ノズルの形成方法

発明者：
河野 一郎

河野 一郎 について

, 
塩田 純司

塩田 純司 について


出願人/特許権者：
カシオ計算機株式会社

カシオ計算機株式会社 について


代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-023373
公開番号（公開出願番号）：特開2000-218798
出願日： 1999年02月01日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：
【要約】【課題】厚いオリフィス板に多数の良質な吐出ノズルを短時間で一括して均一に明ける吐出ノズルの形成方法を実現する。【解決手段】ヘリコン波エッチング装置の処理室35の治具36上にインクジェットヘッド基板のウエハ29を載置し機構的又は静電的に固定する。ウエハ29には支持台37及び治具36をを介して一方ではバイアス電源38からRF(高周波)バイアスが印加されると共に他方では低温サーキュレータ39により冷媒を用いて「-10°C」以下の冷却が行われる。パイプライン46から源流室42に供給される処理用酸素ガスは、源流電源47からアンテナ43に印加される高周波電圧によってプラズマ化され、内コイル44及び外コイル45によって処理室35に送り込まれ、磁石41によって処理室35内に均一に閉じ込められ、RFバイアス電圧によるウエハ29の電位により吸引・加速され、ウエハ29上のオリフィス板をエッチングする。接着材3aの温度はTg以下に抑えられる。
請求項（抜粋）：
インクに圧力を加えて該インクを吐出ノズルより記録媒体に噴射させて記録を行うインクジェットプリンタにおける吐出ノズルの形成方法であって、前記吐出ノズルを形成すべきオリフィス板に対ドライエッチング用マスク膜を形成し、前記マスク膜が形成された前記オリフィス板を設置した記録ヘッド基板を冷却しつつ、へリコン波ドライエッチング法により多数の吐出ノズルを同時に一括して穿設することを特徴とするインクジェットプリンタにおける吐出ノズルの形成方法。
Fターム (14件)：
2C057AF91 ,  2C057AF93 ,  2C057AG01 ,  2C057AG12 ,  2C057AG46 ,  2C057AG85 ,  2C057AP13 ,  2C057AP22 ,  2C057AP32 ,  2C057AP34 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057BA04 ,  2C057BA13
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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