特許
J-GLOBAL ID：200903009352856595
薄膜磁気ヘッド素子及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 宜喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-205926
公開番号（公開出願番号）：特開平7-044820
出願日： 1993年07月27日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：
【要約】【目的】 寸法精度が高く、ギャップ幅の均一な再生ヘッド部及び記録ヘッド部を有する薄膜磁気ヘッド素子を製造すること。【構成】 セラミック基板10上に絶縁物11を塗膜し、更に下部シールド層12,下部リードギャップ層13を夫々塗膜する。次に下部リードギャップ層13の上面にMR素子9のパターン形成を行う。次にMR素子9の中央部に逆テーパ状で銅製のマスクパターン32を設け、リード層15を全面に塗膜する。そしてマスクパターン32を除去すると、MR素子9の接続部に平面形状が平坦なリード層15が接続される。更に上部シールド層19,下部磁性層22,ギャップ層15,上部磁性層22をこの順に成膜すると、記録ヘッド部において均一なギャップ層21が得られる。
請求項（抜粋）：
磁気記録媒体の記録面に摺動又は浮上するスライダ部と、前記スライダ部の空気流出端に接合されて信号を記録及び再生する薄膜磁気ヘッド素子とを有する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記薄膜磁気ヘッド素子は、前記スライダ部の側面に接合される基板、前記基板に絶縁物及びシールド層を介して成膜される下部リードギャップ層、前記下部リードギャップ層にパターン形成され、前記磁気記録媒体の磁束密度を検出する磁気抵抗効果素子、前記磁気抵抗効果素子の異なる位置に接続されるリード層、前記磁気抵抗効果素子と前記リード層の上面を絶縁する単一の上部リードギャップ層を夫々有し、前記磁気抵抗効果素子の磁気抵抗変化により信号を再生する再生ヘッド部を具備することを特徴とする薄膜磁気ヘッド素子。
IPC (2件)：
引用特許：
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