特許
J-GLOBAL ID：200903009358105990

プローブ構造体及び走査型プローブ顕微鏡

発明者：
安武 正敏

安武 正敏 について

, 
梅基 毅

梅基 毅 について


出願人/特許権者：
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 について


代理人 (1件)： 松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-155995
公開番号（公開出願番号）：特開2007-322363
出願日： 2006年06月05日
公開日（公表日）： 2007年12月13日
要約：
1本の観測用プローブと複数本の作業用のプローブを有する、カンチレバーアレーにおいて、試料の観測中に作業用プローブが、試料の突起部に衝突しないように制御する方法を提供した。【解決手段】 1)観測用探針と作業用探針の距離と高さの違いを事前に測定する。2)作業用探針が、観測用探針の走査の軌跡になるべく近いところを走査するように走査方向を決定する。3)作業用探針が、試料の突起部を通過する前に探針引き上げ量を突起部高さ以上に設定し、引き上げて測定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
少なくとも一本の観察用のプローブと、一又は複数本の非観察用のプローブとを備え、走査型プローブ顕微鏡に装着されて、当該装置において、一本又は複数本(全部を含む。)のプローブがその目的に沿って同時に使用される、走査型プローブ顕微鏡に用いられるプローブ構造体。
IPC (3件)：
G01N 13/10 ,  G01N 13/16 ,  G01N 13/22
FI (4件)：
G01N13/10 F ,  G01N13/10 A ,  G01N13/16 C ,  G01N13/22 B
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 電気学会論文誌E IEEJ Trans.SM,Vol125,No.11,2005,武川哲也、橋口原、民谷栄一等
審査官引用 (2件)

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