微細加工装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：廣澤勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-072051
公開番号（公開出願番号）：特開2004-276177
出願日： 2003年03月17日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】簡単な構成で、超微細寸法の機械加工を行うことができ、可搬性があり、加工対象を選ばない微細加工装置を提供する。【解決手段】被加工物12に接触して加工を行う第一の探針18と、探針18が固定された第一のカンチレバー20と、被加工物12に接近してその形状を検知する第二の探針19と、探針19が固定された第二のカンチレバー21とを備える。第一、第二のカンチレバー20,21を所定間隔空けて保持したカンチレバー取付部材24と、カンチレバー取付部材24を移動自在に保持した固定部材30と、固定部材30とともに第一、第二のカンチレバー20,21を任意の方向に微小駆動する圧電駆動装置32を備える。カンチレバー取付部材24を移動させて、第一、第二のカンチレバー20,21の位置を切り替えるモータ64を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被加工物に接触して加工を行う第一の探針と、この探針が固定された第一のカンチレバーと、被加工物に接近してその性状を検知する第二の探針と、この第二の探針が固定された第二のカンチレバーと、これら第一、第二のカンチレバーを所定間隔空けて保持したカンチレバー取付部材と、このカンチレバー取付部材を移動自在に保持した支持部材と、この支持部材とともに上記第一、第二のカンチレバーを任意の方向に微小駆動する圧電駆動装置と、上記第一、第二のカンチレバーの各探針の変位を検知する光学的検知装置と、上記圧電駆動装置を作動させて上記支持部材を介して上記第一のカンチレバーを微小変位させ上記第一の探針により被加工物を機械加工する加工制御手段と、上記第二の探針及び上記光学的検知装置により被加工物の表面を測定する計測制御手段とを備え、上記カンチレバー取付部材を移動させて上記第一、第二のカンチレバーの位置を切り替え可能に設けたことを特徴とする微細加工装置。

IPC (4件)：

B82B3/00 , B81C5/00 , G01B21/20 , G01N13/10

FI (4件)：

B82B3/00 , B81C5/00 , G01B21/20 101 , G01N13/10 D

Fターム (8件)：

2F069AA61 , 2F069BB01 , 2F069GG01 , 2F069GG07 , 2F069HH01 , 2F069HH04 , 2F069JJ21 , 2F069LL03

引用特許：

審査官引用 (5件)

微細加工方法および微細加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-161937 出願人：キヤノン株式会社
特開平3-251705
走査型探針装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-334131 出願人：日立電線株式会社

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