特許
J-GLOBAL ID：200903005519098099
マルチプローブ及びこれを用いた微細加工方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
武石 靖彦
, 村田 紀子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-103605
公開番号（公開出願番号）：特開2004-306197
出願日： 2003年04月08日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：
【課題】走査型プローブ顕微鏡にそのまま適用することができ、広範囲を一括に、且つ任意位置に高精度なナノ加工を行うことができ、加工後、直接被加工物の表面形状を計測することができる。【解決手段】試料表面の微細な凹凸を計測するプローブ1の側方に、試料加工用チップ21をもつ加工用プローブ2を複数個並設した。また、走査型プローブ顕微鏡の試料ステージ室内に、試料加工用チップ21を備えた加工用プローブ2を試料表面計測用プローブ1の側方に一体的に取り付け、これらプローブ1,2を試料に対してXYZ軸方向に走査するとともに、加工用プローブ2に通電することによって試料の微細加工を行い、併せて計測用プローブ1でその加工表面の計測を行う。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料表面の微細な凹凸を計測するプローブの側方に、試料加工用チップをもつ加工用プローブを、複数個並設したことを特徴とする走査型マルチプローブ顕微鏡のためのマルチプローブ。
IPC (4件)：
B82B3/00
, B81B3/00
, G01B11/24
, G01N13/10
B82B3/00
, B81B3/00
, G01N13/10 F
, G01B11/24 A
2F065AA50
, 2F065AA54
, 2F065CC25
, 2F065GG06
, 2F065JJ11
, 2F065MM07
, 2F065PP04
, 2F065PP24
