スピンナー装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：秋元輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-185075
公開番号（公開出願番号）：特開平11-031643
出願日： 1997年07月10日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】研磨後にウェーハの表裏面を同時に洗浄し、且つ乾燥できるようにしたスピンナー装置を提供する。【解決手段】半導体ウェーハの外周の少なくとも3箇所を把持するクランプと、このクランプを支持し回転する回転体と、ウェーハの裏面を洗浄する裏面洗浄水供給ノズルと、ウェーハの表面を洗浄する表面洗浄水供給ノズルとを少なくとも備える。ウェーハの表裏面を乾燥させるための表面乾燥用エアー供給ノズルと、裏面乾燥用エアー供給ノズルとを付設する。クランプは、ウェーハ把持部と、回転部と、把持作用部とを含み、この把持作用部の作用、非作用によってウェーハを把持又は開放する。クランプのウェーハ把持部は、バネで適宜の力で内側に付勢されウェーハを把持する。

請求項（抜粋）：

半導体ウェーハの外周の少なくとも3箇所を把持するクランプと、このクランプを支持し回転する回転体と、ウェーハの裏面を洗浄する裏面洗浄水供給ノズルと、ウェーハの表面を洗浄する表面洗浄水供給ノズルと、から少なくとも構成されるスピンナー装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , B05C 11/08 , H01L 21/304 351

FI (3件)：

H01L 21/30 564 C , B05C 11/08 , H01L 21/304 351 S

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開昭62-166517
特開平1-231046
特開昭57-032759

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