特許

J-GLOBAL ID：200903009528158970

静圧軸受装置

発明者： 崔 長植
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-026710
公開番号（公開出願番号）：特開2001-221230
出願日： 2000年02月03日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：

【要約】【課題】 高剛性を持ちながら、高負荷容量および低消費流量を持つ省エネルギタイプの静圧軸受装置を提供する。【解決手段】 受圧部材1のガイド面1aと軸受本体2との間の軸受すきまhに多孔質材料4からなる多孔質絞りを通して高圧流体を噴出する噴出手段を有し、かつ軸受本体2の軸受面2aにおける多孔質材料4によって囲まれた範囲内に非通気性の軸受面領域2aを持ち、多孔質材料4の外周に所定幅bの非通気性ランド部5を有し、多孔質材料4が軸受本体2の外形寸法の0.1〜0.3倍の幅tおよび3〜6mmの厚さhzを有し、かつランド部5の所定幅bが2mm以下である。

請求項（抜粋）：

ガイド面と軸受本体との間のすきまに多孔質材料らなる多孔質絞りを通して高圧流体を噴出する噴出手段を有し、かつ前記軸受本体の軸受面における前記多孔質材料によって囲まれた範囲内に非通気性の軸受面領域を持ち、前記多孔質材料の外周に所定幅bの非通気性ランド部を有する静圧軸受装置において、前記多孔質材料が前記軸受本体の外形寸法の0.1〜0.3倍の幅tおよび外形寸法の0.01〜0.3倍の厚さhzを有しており、かつ前記ランド部の所定幅bが外形寸法の0.01〜0.3倍であることを特徴とする静圧軸受装置。

IPC (3件)：

F16C 32/06 ,  H01L 21/027 ,  B23Q 1/38

FI (4件)：

F16C 32/06 A ,  F16C 32/06 B ,  H01L 21/30 503 A ,  B23Q 1/26 E

Fターム (15件)：

3C048BC02 ,  3C048CC07 ,  3C048DD02 ,  3J102AA02 ,  3J102BA14 ,  3J102CA09 ,  3J102CA36 ,  3J102EA02 ,  3J102EA07 ,  3J102EA18 ,  3J102FA08 ,  3J102GA01 ,  3J102GA07 ,  5F046CC03 ,  5F046CC20

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 気体静圧軸受け装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-346586   出願人：株式会社ニコン
• 部分多孔質セラミックの製造方法及びこの製造方法によって得られた流体軸受け
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-089850   出願人：東陶機器株式会社, 日本電信電話株式会社
• 特開昭62-209220
  
• 特開昭62-209220