特許
J-GLOBAL ID：200903009528902262
誘導結合プラズマ質量分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-193355
公開番号（公開出願番号）：特開平10-040857
出願日： 1996年07月23日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 キャリアガス中の成分に起因する分子イオンの影響を低減し、該分子イオンの干渉を受けていた検出対象元素の検出限界を下げる。【解決手段】 イオンレンズ部40と質量選択部50を区分する開口板104、114のイオンビーム通過孔106、116のサイズを小さくして、キャリアガスにより、スキマーコーン34とゲート弁の間の真空度が低くなるようにする。又は、スキマーコーン34のイオンビーム通過孔35をシリンダ状に形成する。
請求項（抜粋）：
試料を霧化して、イオン化部に導入するための試料導入部と、該試料導入部からキャリアガスと共に運ばれてきた試料中の元素をイオン化するための、トーチを含むイオン化部と、大気圧下の該イオン部でイオン化された元素をサンプリングして、真空下のイオンレンズ部に導入するための、サンプリングコーン及びスキマーコーンを含むインターフェース部と、該インターフェース部を通過したイオンを収束するためのイオンレンズ部と、該イオンレンズ部から導入されるイオンを、測定質量数毎に分けるための、マスフィルタを含む質量選択部と、該質量選択部を通過してきた測定質量数のイオンを計数する検出部とを備え、前記イオンレンズ部と質量選択部を区分する開口板のイオンビーム通過孔のサイズを小さくして、サンプリングコーンから導入されるガスにより、前記スキマーコーンと開口板の間の真空度が低くなるようにしたことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
IPC (4件)：
H01J 49/26
, G01N 27/62
, H01J 49/04
, H01J 49/10
H01J 49/26
, G01N 27/62 B
, H01J 49/04
, H01J 49/10
