特許
J-GLOBAL ID：200903009552032082
パターン転写用スタンパ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉村 俊一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-371804
公開番号（公開出願番号）：特開2005-133166
出願日： 2003年10月31日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】 成膜又はエッチングによりスタンパ表面に形成されたパターンの端形状が良好な直線性を有し、情報記録媒体等の高密度、高容量化に伴う微細パターンに対応可能な、パターン転写用スタンパ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 パターン転写の型として用いられるスタンパであって、少なくともそのスタンパの凸部最表面を、X線回折において結晶性ピークを有していない材料110で形成することにより、上記課題を解決する。こうしたスタンパは、基板上に凹凸パターンを形成する工程と、その凹凸パターンの上にX線回折において結晶性ピークを有していない材料110の層を形成する工程と、前記基板及び前記凹凸パターンと、前記X線回折において結晶性ピークを有していない材料110の層との密着面を剥離する工程とを含む方法で製造できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
パターン転写の型として用いられるスタンパであって、少なくとも該スタンパの凸部最表面が、X線回折において結晶性ピークを有していない材料で形成されていることを特徴とするパターン転写用スタンパ。
IPC (5件)：
C25D1/00
, B29C33/38
, C23F1/00
, G11B5/855
, G11B7/26
C25D1/00 321
, B29C33/38
, C23F1/00 102
, G11B5/855
, G11B7/26 511
4F202AH79
, 4F202CA11
, 4F202CB01
, 4F202CD02
, 4F202CK43
, 4K057DA20
, 4K057DB20
, 4K057DD05
, 4K057DE06
, 4K057DE20
, 4K057DN01
, 5D112AA02
, 5D112AA16
, 5D112AA19
, 5D112AA20
, 5D112BA10
, 5D112GA02
, 5D112GA12
, 5D112GA20
, 5D121CA07
, 5D121CB01
, 5D121CB03
, 5D121CB05
, 5D121CB06
, 5D121CB07
