特許
J-GLOBAL ID：200903009599694008
感放射線性組成物
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-312001
公開番号（公開出願番号）：特開2000-137326
出願日： 1998年11月02日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：
【要約】【課題】 感度、解像度、パターン形状が良好で、かつ、塗布膜の膜減りの抑制された感放射線性組成物を提供する。【解決手段】 フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂の水酸基の一部が酸分解性保護基で保護された樹脂(A)と光酸発生剤を含有し、かつ、該樹脂(A)が各々異なる酸分解性保護基にて保護された、少なくとも2種以上の樹脂を含有する感放射線性組成物において、該樹脂(A)の少なくとも1種の樹脂がフェノール性水酸基を介して連結基によって架橋されている構造を有していることを特徴とする感放射線性組成物。
請求項（抜粋）：
フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂の水酸基の一部が酸分解性保護基で保護された樹脂(A)と光酸発生剤を含有し、かつ、該樹脂(A)が各々異なる酸分解性保護基にて保護された、少なくとも2種以上の樹脂を含有する感放射線性組成物において、該樹脂(A)の少なくとも1種の樹脂がフェノール性水酸基を介して連結基によって架橋されている構造を有していることを特徴とする感放射線性組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/039 601
, C08L 25/18
, C08L 61/10
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, C08L 25/18
, C08L 61/10
, G03F 7/004 503 A
, H01L 21/30 502 R
2H025AA00
, 2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA04
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025CB17
, 2H025CB29
, 2H025CB41
, 4J002AA05X
, 4J002BC12W
, 4J002CC03X
, 4J002CC04X
, 4J002CC05X
, 4J002FD156
