特許
J-GLOBAL ID：200903009604494780
静電アクチュエータ及びその製造方法
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-077921
公開番号（公開出願番号）：特開2001-268946
出願日： 2000年03月21日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：
【要約】【課題】 安価で量産性に優れた静電アクチュエータ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 各々の表面に第1電極(A,C,B,D)が形成されこの第1電極が互いに対向するように配置された一対の固定子(4,5)と、一対の固定子の間に形成され、第1電極に対向する面側に第2電極(9)が配列され第1電極に所定の電圧が印加されることにより固定子に対し相対移動可能な可動子(8,40)と、一対の固定子を互いに対向させて支持するとともに可動子の移動を案内する固定子枠部材(2,3)と、を備え、固定子枠部材は、一対の固定子の各々が支持される二つの分割部材(2,3)からなる。固定子枠部材は、一対の固定子の各々が支持される二つの分割部材からなるので、マスター部材の寸法を転写することができる。
請求項（抜粋）：
各々の表面に第1電極が形成されこの第1電極が互いに対向するように配置された一対の固定子と、前記一対の固定子の間に配置され、前記第1電極に対向する面側に第2電極が形成され前記第1電極に所定の電圧が印加されることにより前記固定子に対し相対移動可能な可動子と、前記一対の固定子を互いに対向させて支持するとともに前記可動子の移動を案内する固定子枠部材と、を備え、前記固定子枠部材は、前記一対の固定子の各々が支持される二つの分割部材からなることを特徴とする静電アクチュエータ。
引用特許：
出願人引用 (4件)
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光学装置およびこの光学装置を用いた観察装置
公報種別：公開公報 出願番号：特願平9-046654 出願人：株式会社東芝 -
静電アクチュエータおよび静電支持機構
公報種別：公開公報 出願番号：特願平8-056290 出願人：株式会社東芝 -
静電アクチュエータ及び光学レンズ駆動装置
公報種別：公開公報 出願番号：特願平7-172797 出願人：松下電器産業株式会社
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