特許
J-GLOBAL ID：200903009660301170
ガラス基板の鏡面仕上げ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-187208
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009697
出願日： 1999年07月01日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：
【要約】【課題】磁気ディスク、液晶パネル、等に用いられるガラス基板の表面をより高度に平坦な鏡面に仕上げることができる方法を提供することである。【解決手段】ガラス基板Dの表面に、水酸化カリウム溶液等の水酸基を有する溶液を供給しながら、砥粒を分散固定し表面に複数の凹部をもつ弾力性のあるスポンジ材20をガラス基板Dの表面にスポンジ材が少しだけへこむ程度に押し当て、スポンジ材20とガラス基板Dとを相対的に移動させ、その後、スポンジ材20を押し当てガラス基板Dと相対的に移動させながら、水酸基を有する溶液に代えて洗浄液を供給し、その後、ガラス基板Dの表面からスポンジ材20を離してガラス基板Dの表面をリンスする、鏡面仕上げ方法。
請求項（抜粋）：
ガラス基板の表面に水酸基を有する溶液を供給しながら、砥粒を固定し表面に複数の凹部をもつ弾力性のあるスポンジ材を前記ガラス基板の表面に押し当て、前記スポンジ材と前記ガラス基板とを相対的に移動させる工程、を含む鏡面仕上げ方法。
Fターム (10件)：
3C058AA09
, 3C058AA18
, 3C058AB04
, 3C058AB06
, 3C058AC04
, 3C058BA02
, 3C058CA01
, 3C058CB01
, 3C058CB10
, 3C058DA12
