特許
J-GLOBAL ID：200903009668938399
マイクロ波供給器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-359179
公開番号（公開出願番号）：特開平11-329792
出願日： 1998年05月18日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：
【要約】【課題】 大面積均一な平板状の高密度低電位プラズマを発生できる、マイクロ波を提供する。【解決手段】 容器1内に配された被処理体Wに対向して設けられ誘電体窓4を透してマイクロ波を容器1内に導入するマイクロ波供給器において、平板状のH面に所定の間隔で設けられていた複数のスロットを有する環状導波路を複数同心状に有していることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
互いに離間して設けられた複数のスロットを有する平面状のH面と、マイクロ波の進行方向に垂直な矩形断面と、を有する環状導波路を該H面が同一平面となるように複数同心状に備え、各環状導波路の該平面状のH面に設けられた該複数のスロットより、マイクロ波を供給するマイクロ波供給器。
IPC (7件)：
H05H 1/46
, C23C 16/50
, C23F 4/00
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
, H01L 21/31
, H01Q 21/06
H05H 1/46 B
, H05H 1/46 C
, C23C 16/50 E
, C23F 4/00 D
, H01L 21/205
, H01L 21/31 C
, H01Q 21/06
, H01L 21/302 B
