特許
J-GLOBAL ID：200903009764700980

静電チャック用被保持物配置部材及びその製造方法並びに静電チャック

発明者：
中東 孝浩

中東 孝浩 について


出願人/特許権者：
日新電機株式会社

日新電機株式会社 について


代理人 (1件)： 谷川 昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-319461
公開番号（公開出願番号）：特開平10-158815
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：
【要約】【課題】静電チャック用被保持物配置部材であって被保持物を被保持物配置部材で保持した状態でこの被保持物に所定の処理を施すことによりこの配置部材が高温になった場合にも、この被保持物をこの配置部材から容易に剥離することができる静電チャック用被保持物配置部材及びかかる被保持物配置部材を有する静電チャック並びにかかる被保持物配置部材の製造方法を提供する。【解決手段】被保持物E4を静電吸着するための、静電チャック用の被保持物配置部材であり、電気絶縁性材料からなる基体E2の被保持物配置面E2 ́に離型性のある炭素膜Cを形成して構成されている静電チャック用被保持物配置部材、及びその製造方法、並びに静電チャックE。
請求項（抜粋）：
被保持物を静電吸着するための、静電チャック用の被保持物配置部材であり、電気絶縁性材料からなる基体の被保持物配置面に離型性のある炭素膜を形成して構成されていることを特徴とする静電チャック用被保持物配置部材。
IPC (3件)：
C23C 14/02 ,  C23C 14/50 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
C23C 14/02 ,  C23C 14/50 A ,  H01L 21/68 R
引用特許：
審査官引用 (19件)
  • 硬質層被覆部材
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-110871   出願人：京セラ株式会社
  • 硬質層被覆部材
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-022256   出願人：京セラ株式会社
  • 硬質層被覆部材
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-009345   出願人：京セラ株式会社
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