特許

J-GLOBAL ID：200903009799174548

電磁誘導型位置検出装置

発明者： 宮田 俊治
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-068413
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255107
出願日： 2000年03月13日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】 外部温度の影響を排除して常に正確な位置検出を可能にする。【解決手段】 所定ギャップを介して相対移動可能に対向配置された検出ヘッド及びスケールを備え、検出ヘッド側に、一次変動磁束を発生させる駆動コイルと、相対移動方向に所定の空間周期で変化する磁気パターンを検出する相対移動方向に所定の空間周期で形成された受信コイルとを設けると共に、スケール2側に一次変動磁束を変調して磁気パターンを発生させる、磁気変調手段を設けた電磁誘導型位置検出装置において、板状に形成された樹脂基板30からなるスケール2の磁気変調手段が形成された面と反対側の面に、樹脂基板30の伸縮を防止すると共に、渦電流を抑制する所定パターンの金属箔61を形成した。

請求項（抜粋）：

所定ギャップを介して相対移動可能に対向配置された検出ヘッド及びスケールを備え、前記検出ヘッド側に、一次変動磁束を発生させる駆動コイルと、前記相対移動方向に所定の空間周期で変化する磁気パターンを検出する前記相対移動方向に前記所定の空間周期で形成された受信コイルとを設けると共に、前記スケール側に前記一次変動磁束を変調して前記磁気パターンを発生させる、前記相対移動方向に前記所定の空間周期で配列された磁気変調手段を設けた電磁誘導型位置検出装置において、前記スケールは、板状に形成された樹脂からなり、前記検出ヘッドと対向する面に前記磁気変調手段が形成され、これと反対側の面に所定パターンの金属箔が形成されていることを特徴とする電磁誘導型位置検出装置。

IPC (3件)：

G01B 7/00 ,  G01D 5/245 101 ,  G01D 5/245

FI (3件)：

G01B 7/00 D ,  G01D 5/245 101 H ,  G01D 5/245 101 C

Fターム (21件)：

2F063AA02 ,  2F063CA40 ,  2F063DA05 ,  2F063DD03 ,  2F063EA02 ,  2F063GA01 ,  2F063GA38 ,  2F063KA01 ,  2F063KA02 ,  2F063KA03 ,  2F063KA04 ,  2F077AA28 ,  2F077AA30 ,  2F077CC02 ,  2F077NN05 ,  2F077NN16 ,  2F077PP06 ,  2F077QQ03 ,  2F077QQ15 ,  2F077QQ17 ,  2F077VV01

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 誘導型位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-101286   出願人：株式会社ミツトヨ
• 磁気式リニアスケール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-315738   出願人：株式会社三協精機製作所
• 位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-132981   出願人：ソニーマグネスケール株式会社