特許
J-GLOBAL ID：200903009808739413

表面電位分布の測定方法および表面電位分布測定装置

発明者：
須原 浩之

須原 浩之 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (2件)： 樺山 亨 ,  本多 章悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-406002
公開番号（公開出願番号）：特開2005-166542
出願日： 2003年12月04日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：
【課題】物体の表面電位分布を2次電子によらずに極めて高精度に測定する。【解決手段】表面電位分布を有する試料0に対して荷電粒子ビームを2次元的に走査し、この走査によって得られる検出信号により、試料の表面電位分布を測定する方法において、2次元的な走査により試料表面に入射する荷電粒子のうち、その入射速度ベクトルの上記試料表面における法線方向の成分が反転した荷電粒子を検出して検出信号を得る。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
表面電位分布を有する試料に対して荷電粒子ビームを2次元的に走査し、この走査によって得られる検出信号により、試料の表面電位分布を測定する方法において、 2次元的な走査により試料表面に入射する荷電粒子のうち、その入射速度ベクトルの上記試料表面における法線方向の成分が反転した荷電粒子を検出して検出信号を得ることを特徴とする表面電位分布の測定方法。
IPC (5件)：
H01J37/28 ,  B41J2/44 ,  G01R19/00 ,  G01R29/12 ,  G03G21/00
FI (6件)：
H01J37/28 A ,  H01J37/28 Z ,  G01R19/00 J ,  G01R29/12 Z ,  G03G21/00 370 ,  B41J3/00 M
Fターム (13件)：
2C362AA03 ,  2C362AA65 ,  2C362AA66 ,  2G035AA12 ,  2G035AC13 ,  2H027DA02 ,  2H027DE05 ,  2H027DE07 ,  2H027EA02 ,  5C033UU01 ,  5C033UU03 ,  5C033UU05 ,  5C033UU08
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (7件)
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