特許
J-GLOBAL ID：200903009870635250

光学部材用収納ケース

発明者：
三代 均

三代 均 について

, 
菊川 信也

菊川 信也 について

, 
生田 順亮

生田 順亮 について


出願人/特許権者：
旭硝子株式会社

旭硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-127789
公開番号（公開出願番号）：特開2002-046793
出願日： 2001年04月25日
公開日（公表日）： 2002年02月12日
要約：
【要約】【課題】ケース自体からのガスの発生を防止して収納時における光学用部材の光透過率の低下を抑える。【解決手段】合成石英ガラスからなる光学部材を収容する光学部材用収容ケースにおいて、少なくとも内表面の実質的に全面にわたって、収納ケースの基材である合成樹脂から発生するガスを実質的に通さない被膜を形成し、収納ケースに収容された光学部材の波長157.5nmにおける光透過率の低下を、前記光学部材の収納直後と100時間後とで、その差が1%以下になるように抑制する。
請求項（抜粋）：
合成石英ガラスからなる光学部材を収容するための合成樹脂を基材とする光学部材用収容ケースにおいて、収納ケースには、少なくとも内表面の実質的に全面にわたって、収納ケースの基材である合成樹脂から発生するガスを実質的に通さない被膜が形成されていることを特徴とする光学部材用収納ケース。
IPC (10件)：
B65D 85/86 ,  B32B 9/00 ,  B65D 25/14 ,  B65D 81/24 ,  B65D 85/38 ,  B65D 85/48 ,  C08J 7/04 CER ,  C08J 7/04 CEZ ,  G02B 3/00 ,  C08L101:00
FI (10件)：
B32B 9/00 A ,  B65D 25/14 Z ,  B65D 81/24 D ,  B65D 85/48 ,  C08J 7/04 CER P ,  C08J 7/04 CEZ ,  G02B 3/00 Z ,  C08L101:00 ,  B65D 85/38 R ,  B65D 85/38 B
Fターム (60件)：
3E062AB07 ,  3E062AC02 ,  3E062JA01 ,  3E062JA07 ,  3E062JB22 ,  3E062JD01 ,  3E067AA12 ,  3E067AB66 ,  3E067AB95 ,  3E067AB99 ,  3E067BA01A ,  3E067BB14A ,  3E067EE07 ,  3E067FC01 ,  3E067GD10 ,  3E096BA21 ,  3E096BA24 ,  3E096BA30 ,  3E096BB03 ,  3E096CA01 ,  3E096DA30 ,  3E096EA02 ,  3E096FA03 ,  3E096GA03 ,  4F006AA12 ,  4F006AA15 ,  4F006AA22 ,  4F006AA36 ,  4F006AB73 ,  4F006DA01 ,  4F100AA12B ,  4F100AA12C ,  4F100AA17B ,  4F100AA17C ,  4F100AB01B ,  4F100AB01C ,  4F100AB13B ,  4F100AB13C ,  4F100AK01A ,  4F100AK04A ,  4F100AK07A ,  4F100AK12A ,  4F100AK25A ,  4F100AK45A ,  4F100AK74A ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100BA06 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10B ,  4F100BA10C ,  4F100BA13 ,  4F100GB16 ,  4F100JA20B ,  4F100JA20C ,  4F100JD02 ,  4F100JM02B ,  4F100JM02C ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 電子基板用コンテナ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-208140   出願人：神鋼電機株式会社
  • ウェハーキャリヤ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-216426   出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド

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