特許

J-GLOBAL ID：200903009871548695

水晶振動子の製造方法および振動ジャイロ

発明者： 滝沢 真紀
出願人/特許権者： シチズン時計株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-083751
公開番号（公開出願番号）：特開2005-277482
出願日： 2004年03月23日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：

【課題】 駆動振動に面外成分を含まず、機械的な調整を必要としない振動ジャイロの製造方法を提供する。【解決手段】 Zカット水晶板をウエットエッチング加工する振動ジャイロの製造方法において、+Z軸側の主表面21に形成する耐食膜パターン31〜33の端部位置と-Z軸側の主表面22に形成する耐食膜パターン34〜36の端部位置が一致しないように、一方の耐食膜パターン31〜33を所定の方向へ所定量ずらして形成した。つまり+Z軸側主表面21の耐食膜パターン31、32、33の端部位置が、-Z軸側主表面22の耐食膜パターン34、35、36の端部位置と一致しないように、-X軸方向へ幅dだけずらして形成してある。これらの耐食膜パターン31〜36によって水晶振動子の外形形状を決めている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

Zカット水晶板の主表面に、水晶振動子の外形形状を決めるための耐食膜パターンを形成してから、前記Zカット水晶板をウエットエッチング加工する製造方法において、+Z軸側の前記主表面に形成する前記耐食膜パターンの端部位置と-Z軸側の前記主表面に形成する前記耐食膜パターンの端部位置が一致しないように、一方の前記耐食膜パターンを所定の方向へ所定量ずらして形成したことを特徴とする水晶振動子の製造方法。

IPC (3件)：

H03H3/02 ,  G01C19/56 ,  H03H9/19

FI (3件)：

H03H3/02 D ,  G01C19/56 ,  H03H9/19 J

Fターム (11件)：

2F105BB08 ,  2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13 ,  5J108AA06 ,  5J108BB02 ,  5J108BB03 ,  5J108CC06 ,  5J108MM11

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 振動ジャイロ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-075634   出願人：シチズン時計株式会社
• 角速度センサおよびその特性調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-041336   出願人：松下電器産業株式会社