渦電流センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-162892
公開番号（公開出願番号）：特開2007-333439
出願日： 2006年06月12日
公開日（公表日）： 2007年12月27日
要約：

【課題】導電性膜の膜厚を精度良く測定する。【解決手段】渦電流センサ1は、基板6に形成された導電性膜7に対向して配置されたセンサコイル2a及びセンサコイル2bと、導電性膜7に渦電流を生じさせるための交流信号をセンサコイル2a・2bのいずれかに選択的に供給する交流信号源3と、導電性膜7に生じた渦電流に応じてセンサコイル2a・2bのいずれかに流れる電流値を検出する交流電流計4とを備え、センサコイル2aの径とセンサコイル2bの径とは、導電性膜7の種類に応じて互いに異なっている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

導電性膜または基体に形成された導電性膜に対向して配置された第1センサコイル及び第2センサコイルと、前記導電性膜に渦電流を生じさせるための交流信号を前記第1及び前記第2センサコイルのいずれかに選択的に供給する信号源と、前記導電性膜に生じた渦電流に応じて前記第1及び前記第2センサコイルのいずれかに流れる電流値を検出する電流計とを備え、前記第1センサコイルの径と前記第2センサコイルの径とは、前記導電性膜の種類に応じて互いに異なっていることを特徴とする渦電流センサ。

IPC (1件)：

G01B 7/06

FI (1件)：

G01B7/06 M

Fターム (9件)：

2F063AA16 , 2F063BA26 , 2F063BB02 , 2F063BD13 , 2F063CA10 , 2F063DA01 , 2F063DA05 , 2F063DD03 , 2F063GA08

引用特許：

出願人引用 (4件)

導電性膜の膜厚検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-194530 出願人：株式会社荏原製作所
渦電流センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-134657 出願人：株式会社荏原製作所
シート抵抗測定器
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-122948 出願人：シャープ株式会社

全件表示

前のページに戻る