特許
J-GLOBAL ID：200903018950368375

導電性膜の膜厚検出方法

発明者：
多田 光男

多田 光男 について

, 
山崎 裕延

山崎 裕延 について

, 
須藤 康成

須藤 康成 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (2件)： 渡邉 勇 ,  堀田 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-194530
公開番号（公開出願番号）：特開2004-301857
出願日： 2004年06月30日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】 半導体基板上に形成されるごく薄い導電性膜から比較的厚い導電性膜まで正確に膜厚等の検出を行うことができる導電性膜の膜厚検出方法を提供する。【解決手段】 導電性膜1を備えた半導体基板Wの近傍にセンサコイル2を配置し、センサコイル2は、検出コイル13とバランスコイル14とが互いに逆相となるように接続した直列回路に、可変抵抗16を接続し、検出対象の導電性膜1が存在しないときに直列回路の出力がゼロとなるように調整可能とし、センサコイル2に一定周波数の交流電流を供給して半導体基板W上の導電性膜1に渦電流を形成し、センサコイル2の両端子から見た導電性膜1を含めたインピーダンスを計測し、インピーダンスより、抵抗成分と、リアクタンス成分と、位相および振幅とを分離して出力し、導電性膜1の膜厚を検出する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
導電性膜を備えた半導体基板の近傍にセンサコイルを配置し、前記センサコイルは、信号源に接続する発振コイルと、該コイルの前記導電性膜側に配置する検出コイルと、前記発振コイルの前記導電性膜側の反対側に配置するバランスコイルとを具備し、前記検出コイルとバランスコイルとは互いに逆相となるように接続した直列回路に、可変抵抗を接続し、検出対象の前記導電性膜が存在しないときに前記直列回路の出力がゼロとなるように調整可能とし、 前記センサコイルに一定周波数の交流電流を供給して前記半導体基板上の導電性膜に渦電流を形成し、前記センサコイルの両端子から見た前記導電性膜を含めたインピーダンスを計測し、前記インピーダンスより、抵抗成分と、リアクタンス成分と、位相および振幅とを分離して出力し、前記導電性膜の膜厚を検出することを特徴とする導電性膜の膜厚検出方法。
IPC (1件)：
G01B7/06
FI (1件)：
G01B7/10 Z
Fターム (11件)：
2F063AA16 ,  2F063BA26 ,  2F063BB02 ,  2F063BB06 ,  2F063BC05 ,  2F063BD13 ,  2F063CA10 ,  2F063DA05 ,  2F063GA08 ,  2F063KA05 ,  2F063LA23
引用特許：
審査官引用 (8件)
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