特許
J-GLOBAL ID：200903009977448355
検査治具及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-392238
公開番号（公開出願番号）：特開2002-196018
出願日： 2000年12月25日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：
【要約】【課題】高密度な被検査体の検査を行うことが可能な検査治具及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】絶縁基材11の両面に第一金属層12及び第二金属層13を形成し、第一金属層11側からレーザーにより穴開け加工を行い、開口部14を形成し、絶縁基材11の開口部14内の穴底部の第二金属層13上に金属層15を形成する。さらに、電解めっきにて、絶縁基材11の開口部14内に導体電極16を、第一金属層12上に導体層17を形成し、第一金属層12及び導体層17をパターニング処理して配線層18を形成し、絶縁基材11の一方の面及び配線層上にレジスト層19を形成し、絶縁基材11の他方の面を所定の厚さエッチングにて除去し、絶縁基材11aを形成し、絶縁基材11aの一方の面に配線層18が、他方の面に先端に金属層を有する検査電極が形成された検査治具を得る。
請求項（抜粋）：
絶縁基材の一方の面に配線層が、他方の面に前記絶縁基材を介して検査電極が形成されており、前記検査電極の一端は配線層に接続され、前記検査電極の他端の形状は先端に向かってしだいに細くなり、先端が平面状となっている前記検査電極を有する検査治具において、前記検査電極の先端部に接触信頼性を高める金属層が形成されていることを特徴とする検査治具。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/02
, H01L 21/66
G01R 1/073 F
, G01R 31/02
, H01L 21/66 B
2G011AA15
, 2G011AA21
, 2G011AB06
, 2G011AB08
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 2G014AA02
, 2G014AA03
, 2G014AB59
, 2G014AC10
, 4M106AA02
, 4M106AA04
, 4M106BA01
, 4M106CA01
, 4M106DD03
